CVD法渗铝设备及工艺研究—硕士毕业论文下载



CVD法渗铝设备及工艺研究

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CVD法渗铝设备及工艺研究

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
插图清单	第10-12页
表格清单	第12-13页
第一章绪论	第13-20页
· 研究目的及意义	第13-14页
· 铝化物涂层的制备工艺	第14-17页
· 包埋渗铝	第14-15页
· 气相渗铝	第15-16页
· CVD 渗铝	第16-17页
· 本课题研究领域国内外的研究动态及发展趋势	第17-18页
· 本课题研究内容	第18-19页
· 本课题研究步骤与方法	第19-20页
第二章 CVD 渗铝气体渗铝剂及渗铝反应研究	第20-30页
· 气体渗铝剂的选择及渗铝原理	第20-21页
· 气体渗铝剂的选择	第20页
· 气相氯化铝渗铝原理	第20-21页
· 渗铝工艺的热力学计算	第21-28页
· 渗铝工艺的热力学计算方法及依据	第21-22页
· Al 与 HCl 气体的反应	第22-23页
· 镍基合金的渗铝反应	第23-24页
· 金属氧化物与 H2、HCl 的反应	第24-28页
· CVD 渗铝中形成的金属氯化物试验分析	第28页
· 本章小结	第28-30页
第三章 CVD 渗铝设备及工艺设计	第30-38页
· 渗铝反应对设备和工艺设计的要求和指导	第30-31页
· 双室 CVD 渗铝设备	第30页
· 渗铝炉罐采用高镍铬合金制造	第30-31页
· 采用 N2-HCl-H2供气体系	第31页
· CVD 渗铝系统设计	第31-34页
· 反应系统	第32页
· 控制系统	第32-34页
· 尾气处理系统	第34页
· CVD 渗铝炉设计	第34-36页
· 渗铝炉结构设计	第34-35页
· 渗铝炉加热功率计算及保温体设计	第35-36页
· 工艺设计	第36-37页
· 气体铝化物生成工艺	第36-37页
· 渗铝工艺	第37页
· 本章小结	第37-38页
第四章 CVD 渗铝层研究	第38-53页
· 试验选材	第38-39页
· CVD 渗铝层制备工艺	第39页
· 检测方法	第39-41页
· XRD 检测	第39-40页
· SEM 及 EDS 检测	第40-41页
· 渗铝层结构和成分	第41-52页
· Inconel718 表面渗铝层	第41-47页
· AISI 304 表面渗铝层	第47-52页
· 本章小结	第52-53页
第五章 CVD 渗铝层高温氧化性能研究	第53-58页
· 实验材料	第53页
· 高温氧化性能实验方法	第53-54页
· 渗铝层高温氧化性能试验	第54-57页
· 抗高温氧化试验结果及分析	第54-56页
· 渗铝层抗高温氧化机理分析	第56-57页
· 本章小结	第57-58页
第六章结论	第58-60页
参考文献	第60-63页
致谢	第63-64页
附录：攻读硕士学位期间的主要工作及发表的文章	第64页

本篇论文共64页，点击这进入下载页面。

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