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PLD方法沉积ZnO薄膜及其光电性能研究
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PLD方法沉积ZnO薄膜及其光电性能研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-8 页
引言第8-10 页
1 ZnO综述第10-19 页
　　· ZnO的晶体结构第10-11 页
　　· ZnO的光学和电学性质第11-12 页
　　· ZnO的其他性质及应用第12-13 页
　　　　· 紫外探测器第12 页
　　　　· 压敏特性第12 页
　　　　· ZnO发光二极管第12-13 页
　　　　· 作为GaN的缓冲层第13 页
　　· ZnO的研究现状及前景第13-14 页
　　· 薄膜制备技术概论第14-19 页
　　　　· 脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition,PLD)第14-15 页
　　　　· 喷涂热分解(Spray Pyrolysis)第15-16 页
　　　　· 分子束外延(MBE)第16 页
　　　　· 溶胶—凝胶(Sol-Gel)第16 页
　　　　· 金属有机物化学气相沉积(MOCVD)第16-17 页
　　　　· 电子束反应蒸镀法(Reactive Electron Beam Evaporation)第17 页
　　　　· 磁控溅射法第17-19 页
2 ZnO薄膜的制备及分析方法第19-30 页
　　· ZnO薄膜制备方法第19-23 页
　　　　· PLD法制备ZnO薄膜的基本原理第19-21 页
　　　　· PLD方法的特点第21-22 页
　　　　· 实验设备简介第22-23 页
　　· 薄膜的分析方法第23-30 页
　　　　· X射线衍射(XRD)第23-24 页
　　　　· 透射光谱测量第24-26 页
　　　　· 光致荧光光谱(PL)第26-28 页
　　　　· 霍尔效应(Hall)第28-30 页
3 不同沉积温度下蓝宝石基片上ZnO薄膜的制备及表征第30-41 页
　　· ZnO薄膜的制备及分析方法第30-31 页
　　　　· ZnO薄膜的制备过程第30 页
　　　　· ZnO薄膜的结晶特性研究和光电性能分析第30-31 页
　　· 实验结果与分析第31-39 页
　　　　· 沉积温度对ZnO薄膜结晶质量的影响第31-35 页
　　　　· 沉积温度对ZnO薄膜光电性能的影响第35-37 页
　　　　· ZnO薄膜的低温光谱分析第37-39 页
　　· 本章小结第39-41 页
4 不同沉积温度下Si基片上ZnO薄膜的制备及表征第41-52 页
　　· 引言第41 页
　　· 沉积温度对ZnO薄膜结构的影响第41-45 页
　　　　· ZnO薄膜的结构特性第42-44 页
　　　　· ZnO薄膜的表面形貌第44-45 页
　　· 沉积温度对ZnO薄膜光电性能的影响第45-51 页
　　· 本章小结第51-52 页
5 氮化处理的蓝宝石基片上ZnO薄膜的制备及表征第52-60 页
　　· 引言第52-53 页
　　· 氮化处理的蓝宝石基片上ZnO薄膜的晶体结构第53-54 页
　　· 氮化处理的蓝宝石基片上ZnO薄膜的光谱研究第54-57 页
　　　　· ZnO薄膜的透射光谱研究第54-57 页
　　　　· ZnO薄膜的PL光谱研究第57 页
　　· 氮化处理的蓝宝石基片上ZnO薄膜的电学性能研究第57-59 页
　　· 本章小结第59-60 页
结论第60-61 页
参考文献第61-65 页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第65-66 页
致谢第66-67 页

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。
 
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