教育论文网

高掺硼金刚石薄膜的制备及其特性研究
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→数理科学和化学论文→物理学论文→固体物理学论文→薄膜物理学论文
高掺硼金刚石薄膜的制备及其特性研究
论文目录
 
摘要第1-5 页
Abstract第5-9 页
1 绪论第9-18 页
　　· 金刚石的结构第9-10 页
　　· 金刚石的性质第10-11 页
　　· 金刚石膜的n型掺杂和p型掺杂第11-13 页
　　　　· 金刚石膜的n型掺杂第11-12 页
　　　　· 金刚石膜的p型掺杂第12-13 页
　　· 掺硼金刚石膜的应用第13-16 页
　　· 本文的选题和主要研究内容第16-18 页
2 CVD金刚石薄膜的主要制备方法与表征方法第18-23 页
　　· CVD金刚石薄膜的主要制备方法第18-20 页
　　　　· 热丝化学气相沉积(HFCVD)法第18-19 页
　　　　· 微波等离子化学气相沉积(MPCVD)法第19-20 页
　　· 金刚石薄膜的表征方法第20-23 页
　　　　· 扫描电子显微镜(SEM)第20 页
　　　　· 激光拉曼光谱(Raman)第20-21 页
　　　　· X射线衍射分析法(XRD)第21 页
　　　　· X射线光电子能谱(XPS)第21-22 页
　　　　· 四点探针第22 页
　　　　· 膜厚测量仪第22-23 页
3 HFCVD法制备高掺硼金刚石薄膜的设备与工艺第23-29 页
　　· 热丝化学气相沉积系统简介第23-25 页
　　· 掺硼金刚石薄膜的制备工艺第25-29 页
　　　　· 硼源的选择以及掺硼方法第25-26 页
　　　　· 掺硼金刚石薄膜的制备第26-29 页
4 掺硼浓度对金刚石薄膜生长特性和结构性能的影响第29-42 页
　　· 掺硼浓度对金刚石薄膜表面形貌的影响第30-31 页
　　· 掺硼浓度对金刚石薄膜结晶性能的影响第31-33 页
　　· 不同掺硼浓度下金刚石薄膜的拉曼分析第33-35 页
　　· 掺硼浓度对金刚石薄膜电学性能的影响第35-36 页
　　· 高掺硼金刚石薄膜的XPS谱分析第36-41 页
　　　　· XPS分析掺硼金刚石薄膜中的化学键结构第36-40 页
　　　　· XPS分析掺硼金刚石薄膜中化学键的含量第40-41 页
　　· 本章小结第41-42 页
5 影响高掺硼金刚石薄膜的因素第42-58 页
　　· 甲烷流量对高掺硼金刚石多晶薄膜生长的影响第42-48 页
　　　　· 不同甲烷流量下高掺硼金刚石薄膜的形貌分析第42-44 页
　　　　· 不同甲烷流量下高掺硼金刚石薄膜的拉曼分析第44-45 页
　　　　· 不同甲烷流量下高掺硼金刚石薄膜的XRD分析第45-47 页
　　　　· 甲烷流量对高掺硼金刚石薄膜电学性能的影响第47-48 页
　　· 气体压强对高掺硼金刚石多晶薄膜生长的影响第48-53 页
　　　　· 不同气压对高掺硼金刚石薄膜形貌的影响第48-50 页
　　　　· 不同气压下高掺硼金刚石薄膜的拉曼分析第50-51 页
　　　　· 不同气压下高掺硼金刚石薄膜的XRD分析第51-53 页
　　· 偏流对高掺硼金刚石多晶薄膜生长的影响第53-57 页
　　　　· 不同偏流对高掺硼金刚石薄膜表面形貌的影响第53-55 页
　　　　· 不同偏流下高掺硼金刚石薄膜的拉曼分析第55-56 页
　　　　· 不同偏流下高掺硼金刚石薄膜的XRD分析第56-57 页
　　· 本章小结第57-58 页
结论第58-60 页
参考文献第60-65 页
致谢第65-66 页

本篇论文共66页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
高掺硼金刚石薄膜的制备及其特性研
平面曲管Stokes流问题中的哈密顿体
β-内酰胺抗生素酰化酶产生菌Flavo
青霉素G酰化酶基因的基因工程和定向
非平衡反应磁控溅射迟滞效应的PID神
c-Crk和C3G在3T3-L1脂肪细胞分化过
添加剂对PDMS/PAN富氧复合膜性能的
猫纹状皮层神经元感受野和整合野的
张拉膜结构的形态优化设计
双眼分视运动合成与Optokinetic Ny
丙烯/丙烷分离用PPESK/PEI中空纤维
调节蛋白β-arrestin2影响细胞趋化
尼龙螯合Cu2+亲和膜的制
锌离子对视网膜神经元信号传递的调
破骨细胞形成抑制因子OPG、蝎毒素B
平板膜微滤过程的数值模拟
激发子诱导植物防卫反应过程中的信
多管静止式气波制冷机振荡特性研究
日本柄瘤蚜茧蜂的寄生对黑豆蚜的发
氮化硅薄膜制备及其相关特性研究
1、MuSK和Rac介导agrin诱导的神经生
强流脉冲电子束辐照NiCoCrAlY涂层表
长时程突触增强或抑制所伴随的树突
三维粗糙表面的表征及其气体密封性
蛇毒金属蛋白酶/去整合蛋白新基因的
外场对铝合金凝固行为影响的研究
辛纳毒蛋白细胞毒性及热稳定性研究
叶轮的超速预加载与安定性分析
寻常型鱼鳞病致病基因的定位研究
外场作用及合金化对Mg-Li-Al合金的
一个肝癌相关基因的克隆和功能的初
含间隙机构动力学仿真与实验研究
UKAV融合蛋白的表达及其生物活性研
亮度型水平细胞上红绿敏视锥信号的
大流量离心压缩机首级叶轮强度分析
太湖水体污染的遗传毒性研究
热塑性变形对镁合金微观组织与性能
精神分裂症动物模型及其药物作用筛
斜接弯管内侧裂纹断裂参数研究
1、利用RT-PCR分析热休克后hHSF4两
大型离心压缩机叶轮可靠性研究
1、Nudel/NudE的功能及其磷酸化调节
塑料3K-Ⅱ型微行星齿轮减速器设计方
β-蝮蛇毒素对大鼠脑突触体钙依赖性
啮小蜂对亚洲玉米螟蛹的寄生行为和
大型离心压缩机叶轮动力分析方法研
对地中海拟无枝菌酸菌U32的GlnR蛋白
某高压涡轮转子系统静强度及疲劳可
水孔蛋白与植物对干旱和低温胁迫响
缠绕张力对复合气瓶内胆应力影响
变铅青链霉菌66内源质粒SLP2和SLP3
耐热钢持久性能的可靠性分析
基因芯片数据管理及数据挖掘
大离心泵状态监测及故障诊断仪的研
烟草花叶病毒载体及其在植物中表达
 
高硼掺杂论文 金刚石薄膜论文 硼掺杂状态论文
版权申明：目录由用户pzyz**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved