高压纳秒脉冲等离子体放电特性研究



高压纳秒脉冲等离子体放电特性研究

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高压纳秒脉冲等离子体放电特性研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
引言	第9-11页
1 等离子体概述	第11-22页
· 低温等离子体的产生	第11-15页
· 直流辉光放电	第12-13页
· 射频辉光放电	第13页
· 微波放电	第13-15页
· 纳秒脉冲气体放电等离子体的研究状况	第15-17页
· 纳秒脉冲放电机理及模型	第17-19页
· 纳秒脉冲放电等离子体的应用	第19-20页
· 用于臭氧的产生	第19-20页
· 用于废气的处理	第20页
· 本文的主要研究内容	第20-22页
2 纳秒脉冲气体放电等离子体的产生装置	第22-26页
· 实验装置和测量装置	第22-25页
· 脉冲电源介绍	第22-23页
· 等离子体产生装置	第23-24页
· 等离子体测量装置	第24-25页
· 噪声信号分析及解决办法方法	第25-26页
· 噪声的来源	第25-26页
· 噪声的抑制	第26页
3 纳秒脉冲放电等离子体的电学诊断	第26-30页
· 电学诊断	第26-29页
· 放电机制分析	第29-30页
4 纳秒脉冲放电等离子体的光谱学诊断	第30-39页
· 发射光谱原理	第30-31页
· 谱线的加宽	第31-35页
· 内秒脉冲放电等离子体发射光谱测量	第35-39页
· N_2在放电中产生的活性粒子	第35-36页
· 放电中氧原子的形成	第36页
· 放电中臭氧的形成	第36-39页
5 纳秒脉冲放电等离子体的转动温度和振动温度诊断	第39-43页
· 等离子体的转动温度	第39页
· 等离子体的振动温度	第39页
· 氮气分子转动和振动温度的拟合方法	第39-40页
· 实验结果与讨论	第40-43页
结论与展望	第43-45页
1 结论	第43-44页
2 展望	第44-45页
参考文献	第45-49页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第49-50页
致谢	第50-52 页

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