Mo、Sm的引入对NdFeB薄膜性能的影响



Mo、Sm的引入对NdFeB薄膜性能的影响

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Mo、Sm的引入对NdFeB薄膜性能的影响

论文目录
中文摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-9页
第一章绪论	第9-23页
· 引言	第9-10页
· 稀土材料的发展历程	第10-12页
· 稀土金属的概述	第10-11页
· 稀土金属的应用与分布	第11页
· 稀土生产与分离	第11-12页
· NdFeB稀土永磁材料简介	第12-16页
· NdFeB稀土永磁材料的发展历程	第12-14页
· NdFeB稀土永磁材料的制备方法	第14-15页
· NdFeB稀土永磁材料的应用	第15-16页
· NdFeB稀土永磁材料的基本性质	第16-21页
· NdFeB稀土永磁材料的晶格结构	第16-17页
· NdFeB稀土永磁材料的相图	第17-19页
· NdFeB稀土永磁材料的磁各向异性	第19-21页
· 研究目的和研究内容	第21-23页
· 研究目的	第21页
· 研究内容	第21-23页
第二章 NdFeB稀土永磁薄膜制备及测试方法	第23-33页
· 实验材料	第23页
· 实验设备	第23-27页
· 磁控溅射设备简介	第23-24页
· 磁控溅射工作原理	第24-26页
· 磁控溅射的特点	第26页
· 真空热处理设备	第26-27页
· 分析测试技术	第27-31页
· 扫描电子显微镜	第27-28页
· X射线衍射仪	第28-29页
· 原子力显微镜	第29-30页
· 振动样品磁强仪	第30-31页
· 实验过程	第31-33页
· 基片的准备	第31-32页
· 实验的工艺流程	第32-33页
第三章工艺参数对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响	第33-49页
· 引言	第33-34页
· 溅射功率对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响	第34-38页
· 溅射功率对沉积速率的影响	第34-35页
· 溅射功率对NdFeB薄膜形貌的影响	第35-37页
· 溅射功率对NdFeB薄膜物相的影响	第37-38页
· 溅射时间对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响	第38-41页
· 溅射时间对NdFeB薄膜厚度的影响	第38-39页
· 溅射时间对NdFeB薄膜成分分布的影响	第39-40页
· 溅射时间对NdFeB薄膜磁性能的影响	第40-41页
· 溅射气压对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响	第41-44页
· 溅射气压对沉积速率的影响	第42页
· 溅射气压对NdFeB薄膜形貌的影响	第42-44页
· 热处理工艺对NdFeB稀土永磁薄膜性能的影响	第44-45页
· 退热处理对NdFeB薄膜形貌的影响	第44页
· 热处理温度对NdFeB薄膜磁性能的影响	第44-45页
· 衬底加温对NdFeB稀土永磁薄膜制备的影响	第45-47页
· 衬底加温的工作原理	第45-46页
· 衬底加温对NdFeB薄膜形貌的影响	第46-47页
· 本章小结	第47-49页
第四章 Mo，Sm 的引入对NdFeB稀土永磁薄膜性能的影响	第49-65页
· 引言	第49-50页
· 溅射参数优化	第50-54页
· 溅射参数优化的目的	第50页
· 溅射镀膜的具体流程	第50-52页
· 溅射参数实验方案	第52-54页
· 添加Mo作缓冲层对NdFeB薄膜性能的影响	第54-57页
· Mo作缓冲层对NdFeB薄膜形貌的影响	第54-55页
· Mo作缓冲层对NdFeB薄膜相结构的影响	第55-56页
· Mo作缓冲层对NdFeB薄膜磁性能的影响	第56-57页
· Sm的引入对NdFeB稀土永磁薄膜性能的影响	第57-63页
· Sm的引入对NdFeB薄膜形貌的影响	第57-58页
· Sm的引入对NdFeB薄膜相结构的影响	第58-59页
· Sm的引入对NdFeB薄膜磁性能的影响	第59-61页
· 掺Sm对NdFeB薄膜成分的影响	第61-63页
· 本章小结	第63-65页
第五章结论	第65-67页
参考文献	第67-75页
致谢	第75-77页
攻读学位期间发表的学术论文目录	第77-78页

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