变栅距光栅透镜的设计与制作工艺研究



变栅距光栅透镜的设计与制作工艺研究

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变栅距光栅透镜的设计与制作工艺研究

论文目录
致谢	第1-6页
摘要	第6-7页
Abstract	第7-9页
目录	第9-11页
图目录	第11-13页
表目录	第13-14页
1 绪论	第14-24页
· 光谱仪技术简介	第14页
· 光谱仪的微型化研究方向	第14-15页
· MOEMS 技术简介	第15-16页
· 微型光谱仪的研究现状	第16-21页
· 国外研究现状	第16-19页
· 国内研究现状	第19-21页
· 论文的主要研究工作	第21-23页
· 论文的内容安排	第23-24页
2 变栅距光栅的衍射原理	第24-30页
· 透射光栅光谱仪的工作原理	第24-26页
· 变栅距光栅的简介	第26页
· 变栅距光栅的原理	第26-27页
· 变栅距光栅的设计方法	第27-28页
· 本章小结	第28-30页
3 变栅距光栅透镜的消像差优化设计	第30-46页
· 变栅距光栅透镜的设计模型	第30-32页
· 坐标系统与模型	第30-31页
· 简化设计模型与符号约定	第31-32页
· 像差评价函数的推导	第32-34页
· 光程级数展开	第34-36页
· 变栅距光栅的 MATLAB 消像差设计	第36-39页
· 程序流程	第36-37页
· 单波长与多波长的优化设计算例	第37-39页
· 变栅距光栅透镜的 ZEMAX 仿真	第39-45页
· 仿真模型	第39-40页
· 确定光谱分辨率的方法	第40页
· 单波长的优化仿真分析	第40-42页
· 多波长的优化仿真分析	第42-44页
· 两种优化设计的简单对比	第44-45页
· 本章小结	第45-46页
4 微透镜的热熔法制作工艺	第46-56页
· 光刻胶热熔法概述	第46-47页
· 热熔法的透镜制作工艺原理	第46页
· 热熔工艺的研究与发展	第46-47页
· 微透镜的热熔制作工艺	第47-48页
· 透镜热熔效果的影响因素分析	第48-54页
· 基本实验条件	第48页
· 单层胶与双层胶的效果比较	第48-50页
· 显影程度对透镜面形的影响	第50-52页
· 透镜热熔的接触角	第50-51页
· 完全显影与非完全显影的热熔效果对比	第51-52页
· 透镜口径与热熔曲面轮廓之间的关系	第52-54页
· 透镜制作工艺参数汇总	第54-55页
· 本章小结	第55-56页
5 变栅距光栅的光刻制作工艺探索	第56-62页
· 电子束光刻工艺	第56-57页
· 概述	第56页
· 光栅制作的适用性与限制	第56-57页
· 紫外光刻工艺	第57-60页
· 可行性讨论	第57-58页
· 光栅试制样本	第58-60页
· 本章小结	第60-62页
6 总结与展望	第62-64页
· 论文工作总结	第62-63页
· 未来工作展望	第63-64页
参考文献	第64-68页
附录 1：消像差优化设计的仿真结果分辨率数据	第68-69页
附录 2：针对多波长的消像差优化设计 MATLAB 代码	第69-76页
作者简介与攻读学位期间发表的研究成果	第76 页

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