论文目录 | |
| 摘要 | 第1-5页 |
| abstract | 第5-9页 |
| 1 引言 | 第9-14页 |
| 1.1 选题依据、目的及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第11-12页 |
| 1.2.1 国外发展现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内发展现状 | 第12页 |
| 1.3 本文选题目的和意义 | 第12页 |
| 1.4 本文的主要内容和结构 | 第12-14页 |
| 2 纳米压印技术 | 第14-24页 |
| 2.1 纳米压印技术的几种实现方式 | 第15-19页 |
| 2.1.1 热压印技术 | 第15-16页 |
| 2.1.2 紫外纳米压印技术 | 第16-17页 |
| 2.1.3 激光辅助纳米压印技术 | 第17-19页 |
| 2.2 纳米压印技术与金属互连技术 | 第19-23页 |
| 2.2.1 金属转移介质压印技术 | 第19-21页 |
| 2.2.2 金属互连技术 | 第21-22页 |
| 2.2.3 基于假塑性纳米金属流体压印技术的银互连线制备 | 第22-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 静电场调控下的银互连线各向异性收缩特性研究 | 第24-40页 |
| 3.1 静电场辅助银互连线烧结的各向异性收缩的实验方法 | 第26-30页 |
| 3.1.1 实验样品的制备 | 第26-28页 |
| 3.1.2 实验装置介绍及实验参数选定 | 第28-30页 |
| 3.1.3 数据测量及表征手段 | 第30页 |
| 3.2 静电场辅助银互连线烧结的各向异性收缩率及导电性的影响 | 第30-36页 |
| 3.2.1 外加静电场对银互连线收缩率的影响 | 第30-32页 |
| 3.2.2 外加静电场对银互连线导电性的影响 | 第32-34页 |
| 3.2.3 静电场调控下银互连线中颗粒形貌的分析 | 第34-36页 |
| 3.3 静电场辅助银互连线烧结的各向异性收缩特性的理论解释 | 第36-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 交变电场调控下的银互连线收缩特性研究 | 第40-60页 |
| 4.1 交变电场辅助银互连线烧结的各向异性收缩的实验方法 | 第42-44页 |
| 4.1.1 实验样品的制备 | 第42-43页 |
| 4.1.2 实验装置介绍及实验参数选定 | 第43-44页 |
| 4.1.3 数据测量及表征手段 | 第44页 |
| 4.2 交变电场辅助银互连线烧结的收缩率及导电性的影响 | 第44-54页 |
| 4.2.1 外加交变电场对银互连线收缩率的影响 | 第44-48页 |
| 4.2.2 外加交变电场对银互连线导电性的影响 | 第48-52页 |
| 4.2.3 交变电场调控下银互连线中颗粒形貌的分析 | 第52-54页 |
| 4.3 交变电场辅助银互连线烧结的收缩特性的理论解释 | 第54-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 总结与展望 | 第60-63页 |
| 5.1 本文的主要内容和结论 | 第60-61页 |
| 5.2 文章中存在的问题及展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
