多孔硅基光学梳状滤波器的技术研究



多孔硅基光学梳状滤波器的技术研究

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多孔硅基光学梳状滤波器的技术研究

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
第一章绪论	第7-19页
· 多孔硅简介	第7-11页
· 多孔硅发展历史	第7页
· 多孔硅的性质及应用	第7-9页
· 多孔硅制备方法的简介	第9-11页
· 多孔硅光子器件的分类	第11-13页
· 梳状多孔硅简介	第13-14页
· 梳状多孔硅的制备方法	第13-14页
· 梳状多孔硅的优点	第14页
· 多孔硅基光学梳状滤波器的研究及应用现状	第14-17页
· 国内研究及应用现状	第14-15页
· 国外研究及应用现状	第15-17页
· 本论文的主要研究内容及意义	第17-19页
· 研究内容	第17-18页
· 研究意义	第18-19页
第二章刻蚀条件对多孔硅结构的影响研究	第19-28页
· 引言	第19页
· 硅的电化学阳极氧化中微孔的形成机制	第19-20页
· 多孔硅结构的制备	第20-23页
· 实验材料及仪器介绍	第20-21页
· 实验步骤	第21-22页
· 多孔硅结构参数的表征	第22-23页
· 结果分析与讨论	第23-27页
· 电流密度对多孔硅孔隙度、刻蚀速率及多孔硅-硅界面粗糙度的影响	第23-25页
· HF含量对多孔硅孔隙度、刻蚀速率及多孔硅-硅界面粗糙度的影响	第25-27页
· 本章小结	第27-28页
第三章阳极氧化条件对梳状多孔硅反射光谱影响研究	第28-36页
· 引言	第28页
· 多孔硅梳状滤波器的原理	第28-29页
· 梳状多孔硅的制备	第29-31页
· 实验材料与器材	第29页
· 梳状多孔硅的制备实验	第29-31页
· 结果与讨论	第31-35页
· HF含量对梳状多孔硅反射光谱的影响分析	第31-32页
· 刻蚀周期对梳状多孔硅反射光谱的影响分析	第32-33页
· 刻蚀时间对梳状多孔硅反射光谱的影响分析	第33-34页
· 正弦刻蚀波电流密度幅值对梳状多孔硅反射光谱的影响分析	第34-35页
· 本章小结	第35-36页
第四章梳状多孔硅折射率匹配层的制备及其反射特性研究	第36-42页
· 引言	第36-37页
· 有效介质近似计算折射率	第37-38页
· 梳状多孔硅折射率匹配层的制备实验	第38-39页
· 结果与讨论	第39-41页
· SEM分析	第39-40页
· 梳状多孔硅反射光谱分析	第40-41页
· 本章小结	第41-42页
第五章复合梳状多孔硅的制备技术研究	第42-47页
· 引言	第42页
· 梳状多孔硅的复合形式	第42-43页
· 复合梳状多孔硅的制备实验	第43-44页
· 结果分析与讨论	第44-46页
· 宽带宽梳状滤波器反射光谱分析	第44-45页
· 多通道梳状滤波器反射光谱分析	第45-46页
· 本章小结	第46-47页
结论	第47-48页
致谢	第48-49页
参考文献	第49-52页
发表论文和科研情况说明	第52页

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