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基于LMI的纳米级热驱动部件鲁棒H_∞控制研究

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基于LMI的纳米级热驱动部件鲁棒H_∞控制研究
论文目录
 
摘要第1-6 页
ABSTRACT第6-9 页
第一章 绪论第9-18 页
  · 纳米级热驱动部件研究的背景与意义第9-11 页
    · 超精密加工的发展状况第9-10 页
    · 超精密加工的加工条件第10-11 页
    · 基于热变形的驱动方案的研究意义第11 页
  · LMI与鲁棒控制理论的起源与发展第11-15 页
    · 线性矩阵不等式(LMI)的产生与发展第11-12 页
    · 鲁棒控制理论的起源与发展第12-14 页
    · H_∞控制器的求解方法比较第14-15 页
  · 课题的提出及本论文的安排第15-18 页
第二章 纳米级热驱动部件及其控制平台第18-26 页
  · 基于热变形的纳米级热驱动部件第18-21 页
    · 基于热变形的驱动方案的理论基础第18-19 页
    · 半导体致冷器在热驱动中的应用第19 页
    · 高精度位移传感器在纳米级位移测量中的使用第19-20 页
    · 纳米级热驱动部件的安装结构第20-21 页
  · 纳米级驱动部件控制平台第21-24 页
    · 基于 PC机和单片机的控制平台第21-22 页
    · 上位机和下位机通讯协议介绍第22-23 页
    · 纳米级驱动部件控制平台的软件实现第23-24 页
  · 本章小结第24-26 页
第三章 温度干扰下的热驱动部件数学模型建立第26-33 页
  · 分步拟合法在建立数学模型中的运用第26-27 页
  · 功率输入热位移输出传递函数的建立第27-29 页
  · 温度干扰热位移输出传递函数的建立第29-31 页
  · 温度干扰下的热驱动部件数学模型第31-32 页
  · 本章小结第32-33 页
第四章 基于 LMI的鲁棒H_∞控制基础理论第33-45 页
  · LMI线性矩阵不等式第33-35 页
    · 线性矩阵不等式的一般表示第33-34 页
    · 一些标准的线性矩阵不等式问题第34 页
    · 关于矩阵不等式的一个有用结论第34-35 页
  · H_∞鲁棒控制理论基础第35-40 页
    · 鲁棒控制与鲁棒稳定性第35-36 页
    · H_∞鲁棒控制理论的实质第36-37 页
    · H_∞范数及其性能第37-38 页
    · H_∞标准设计问题第38-40 页
  · 基于 LMI方法状态反馈H_∞控制设计方法第40-41 页
  · 基于 LMI方法输出反馈H_∞控制设计方法第41-44 页
  · 本章小结第44-45 页
第五章 纳米级热驱动部件LMI鲁棒控制设计第45-58 页
  · 热驱动部件抗干扰控制问题与H_∞标准设计问题的转换第45-47 页
  · 热驱动部件状态反馈鲁棒控制器设计第47-51 页
  · 热驱动部件输出反馈鲁棒控制器设计第51-54 页
  · 鲁棒H_∞控制与PID相结合的混合控制方法设计第54-56 页
  · 本章小结第56-58 页
第六章 结论与展望第58-60 页
参考文献第60-64 页
致谢第64 页

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