基于LMI的纳米级热驱动部件鲁棒H_∞控制研究
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基于LMI的纳米级热驱动部件鲁棒H_∞控制研究
论文目录
摘要
第1-6 页
ABSTRACT
第6-9 页
第一章 绪论
第9-18 页
· 纳米级热驱动部件研究的背景与意义
第9-11 页
· 超精密加工的发展状况
第9-10 页
· 超精密加工的加工条件
第10-11 页
· 基于热变形的驱动方案的研究意义
第11 页
· LMI与鲁棒控制理论的起源与发展
第11-15 页
· 线性矩阵不等式(LMI)的产生与发展
第11-12 页
· 鲁棒控制理论的起源与发展
第12-14 页
· H_∞控制器的求解方法比较
第14-15 页
· 课题的提出及本论文的安排
第15-18 页
第二章 纳米级热驱动部件及其控制平台
第18-26 页
· 基于热变形的纳米级热驱动部件
第18-21 页
· 基于热变形的驱动方案的理论基础
第18-19 页
· 半导体致冷器在热驱动中的应用
第19 页
· 高精度位移传感器在纳米级位移测量中的使用
第19-20 页
· 纳米级热驱动部件的安装结构
第20-21 页
· 纳米级驱动部件控制平台
第21-24 页
· 基于 PC机和单片机的控制平台
第21-22 页
· 上位机和下位机通讯协议介绍
第22-23 页
· 纳米级驱动部件控制平台的软件实现
第23-24 页
· 本章小结
第24-26 页
第三章 温度干扰下的热驱动部件数学模型建立
第26-33 页
· 分步拟合法在建立数学模型中的运用
第26-27 页
· 功率输入热位移输出传递函数的建立
第27-29 页
· 温度干扰热位移输出传递函数的建立
第29-31 页
· 温度干扰下的热驱动部件数学模型
第31-32 页
· 本章小结
第32-33 页
第四章 基于 LMI的鲁棒H_∞控制基础理论
第33-45 页
· LMI线性矩阵不等式
第33-35 页
· 线性矩阵不等式的一般表示
第33-34 页
· 一些标准的线性矩阵不等式问题
第34 页
· 关于矩阵不等式的一个有用结论
第34-35 页
· H_∞鲁棒控制理论基础
第35-40 页
· 鲁棒控制与鲁棒稳定性
第35-36 页
· H_∞鲁棒控制理论的实质
第36-37 页
· H_∞范数及其性能
第37-38 页
· H_∞标准设计问题
第38-40 页
· 基于 LMI方法状态反馈H_∞控制设计方法
第40-41 页
· 基于 LMI方法输出反馈H_∞控制设计方法
第41-44 页
· 本章小结
第44-45 页
第五章 纳米级热驱动部件LMI鲁棒控制设计
第45-58 页
· 热驱动部件抗干扰控制问题与H_∞标准设计问题的转换
第45-47 页
· 热驱动部件状态反馈鲁棒控制器设计
第47-51 页
· 热驱动部件输出反馈鲁棒控制器设计
第51-54 页
· 鲁棒H_∞控制与PID相结合的混合控制方法设计
第54-56 页
· 本章小结
第56-58 页
第六章 结论与展望
第58-60 页
参考文献
第60-64 页
致谢
第64 页
本篇论文共
64
页,
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