教育论文网

基于AFM与干涉光谱的薄膜厚度测量系统
硕士博士毕业论文站内搜索    
分类：教育论文网→数理科学和化学论文→物理学论文→固体物理学论文→薄膜物理学论文→薄膜的性质论文
基于AFM与干涉光谱的薄膜厚度测量系统
论文目录
 
摘要第1-4 页
ABSTRACT第4-9 页
第一章 绪论第9-22 页
　　· 薄膜厚度测量技术概述第9-13 页
　　　　· 传统的膜厚测量方法第9-10 页
　　　　· 光学显微镜与扫描电子显微镜膜厚测量方法第10-12 页
　　　　· 干涉光谱膜厚测量方法第12-13 页
　　· 原子力显微镜(AFM)技术的研究应用现状第13-17 页
　　· 本文的主要内容及研究成果第17-22 页
第二章 基于AFM与干涉光谱的薄膜厚度测量方法第22-32 页
　　· AFM的工作原理第22-27 页
　　　　· 原子力作用机制第22-23 页
　　　　· AFM的成像原理第23-27 页
　　· 薄膜厚度的干涉光谱法测量原理第27-28 页
　　· 基于AFM与干涉光谱的膜厚测量方法第28-30 页
　　　　· 均匀薄膜厚度的测量方法第28-29 页
　　　　· 多孔薄膜厚度的测量方法第29-30 页
　　· 小结第30-32 页
第三章 基于AFM与干涉光谱的膜厚测量系统研制第32-57 页
　　· AFM系统第32-43 页
　　　　· AFM探头部分设计第33-36 页
　　　　· 粗调与微调进给机构第36 页
　　　　· 光电检测系统及前置放大电路第36-39 页
　　　　· 扫描与反馈控制电路系统第39-42 页
　　　　· 计算机A/D&D/A接口第42-43 页
　　· 光纤光谱测量系统设计第43-47 页
　　　　· 光纤光谱测量系统及工作原理第43-46 页
　　　　· 光纤光谱测量头的安装与定位第46-47 页
　　· 薄膜厚度测量系统第47-48 页
　　· 膜厚测量系统的软件设计第48-54 页
　　　　· AFM的扫描及图像处理软件第50-53 页
　　　　· 多孔薄膜有效折射率的测量第53 页
　　　　· 光谱的获取及薄膜厚度测量软件第53-54 页
　　· 小结第54-57 页
第四章 薄膜厚度测量系统的误差分析及性能优化第57-61 页
　　· 孔隙率误差分析及优化第57-59 页
　　· 干涉光谱波数差误差及优化第59 页
　　· 其他因素的影响第59-60 页
　　· 小结第60-61 页
第五章 薄膜厚度测量的实验技术研究第61-74 页
　　· 标样的测量实验第61-64 页
　　· ITO薄膜厚度的测量第64-67 页
　　　　· ITO薄膜表面的AFM图像第64-66 页
　　　　· 干涉光谱与膜厚计算第66-67 页
　　· 多孔氧化铝薄膜厚度测量第67-72 页
　　　　· 在大气中的测量第68-70 页
　　　　· 在液体中的测量第70-72 页
　　· 小结第72-74 页
第六章 总结与展望第74-77 页
　　· 研究工作总结第74-75 页
　　· 展望第75-77 页
攻读硕士学位期间发表的论文第77-78 页
致谢第78 页

本篇论文共78页，点击这进入下载页面。
 
更多论文
基于AFM与干涉光谱的薄膜厚度测量系
三种紫球藻培养、胞外多糖提取及RA
上市公司资产重组的商业模式及其绩
基于SPR传感技术的生物检测方法与实
长江口潮滩水动力过程及TN、TP动力
基于BPR的柔性应变模式研究
表面等离子体共振（SPR）检测仪器设
空间数据集生产流程通用模型的初步
中国风险投资的退出机制研究
新型多频脉冲电子舌设计与应用研究
国际产业资本流动与国际收支平衡
超高像素全景环带成像研究
国际产业资本流动与经济增长研究
宽量程液体折射率计的研究
购房消费行为分析
无线局域网IEEE802.11n高吞吐量MAC
企业网络研究
扩频码的设计及其在无线通信中的应
企业预警管理理论及其运行机制的研
基于单目视觉的障碍物检测与三维重
港台经济体制、政策及其效果比较研
基于光学相干层析成像技术的生物组
高新技术企业人力资本开发与管理研
短脉冲光纤光源的理论与实验研究
LED背光模组设计
上海市银行GIS系统开发及应用分析
ROF系统中的信号发生器和微波光子滤
以PNA为识别系统的人工内切酶的研究
数字图像中基本几何形状检测算法的
新型非晶态合金的制备、结构表征及
一种数字式自动调焦方法的研究
具有生物活性的多取代-2-氨基嘧啶衍
光学相干层析成像横向扫描系统及外
养猪场废水的处理工艺研究
聚合物电致发光器件载流子注入及输
自生生物动态膜反应器处理城市污水
基于模型的故障诊断方法研究及在航
港口多点无线智能图像监控中心软件
分段均匀弦的Casimir能量
华南典型花岗岩型稀有金属矿床的成
无线Ad Hoc网络连通性问题研究
宇宙演化和结构中两个问题的研究
电梯轿厢井道精密位置检测与变频驱
Sigma-Delta ADC中抽取滤波器的研究
近代物理实验教学改革的探索与实践
纳米材料复合聚丙烯酸酯改性聚氯乙
ROF系统中的光子微波接收关键技术研
基于水资源合理利用与保护的可持续
基于无线宽带的远程电力数据传输系
复合微生物对污染河流生物修复的初
超临界水氧化法处理高浓度萘系有机
PDA电力现场校表系统GPRS数据通信可
关于唯一泛圈有向图
3G移动通信无源器件及漏泄电缆技术
降脂红曲霉的研究
 
原子力显微术论文 AFM论文 干涉光谱论文 光纤光谱仪论文 多孔薄膜论文 膜厚测量论文 有效折射率论文 多孔氧化铝论文 ITO薄膜论文
版权申明：目录由用户duanxuesh**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
| 设为首页||加入收藏||站内搜索引擎||站点地图||在线购卡|
版权所有 教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved