激光晶化能量对ELA多晶硅薄膜晶体管特性影响的研究



激光晶化能量对ELA多晶硅薄膜晶体管特性影响的研究

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激光晶化能量对ELA多晶硅薄膜晶体管特性影响的研究

论文目录
中文摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
第一章绪论	第7-15页
1.1 多晶硅薄膜晶体管的基本概念	第7-10页
1.2 准分子激光结晶法（ELA）技术简介	第10-12页
1.3 准分子激光晶化能量对多晶硅薄膜晶体管器件影响	第12-13页
参考文献	第13-15页
第二章 Silvaco-TCAD仿真多晶硅薄膜晶体管	第15-44页
2.1 器件模拟的基本概念以及原理	第15-16页
2.2 模拟软件ATLAS的使用	第16-22页
2.2.1 材料参数及接触特性	第16-17页
2.2.2 数值计算方法	第17-18页
2.2.3 获取器件的电学仿真特性	第18-20页
2.2.4 仿真结果分析以及处理方法	第20-22页
2.3 多晶硅薄膜晶体管的物理模型	第22-41页
2.3.1 多晶硅薄膜电导模型	第22-31页
2.3.2 多晶硅薄膜晶体管有效迁移率模型	第31页
2.3.3 多晶硅薄膜能带间态密度（DOS）模型	第31-34页
2.3.4 多晶硅薄膜晶体管泄漏电流建模研究与进展	第34-41页
参考文献	第41-44页
第三章 ELA多晶硅薄膜晶体管的器件工艺及制备	第44-53页
3.1 器件制备的工艺	第44-46页
3.2 ELA多晶硅薄膜晶体管测试研究	第46-47页
3.3 论文中所用实验器件的测试统计	第47-52页
参考文献	第52-53页
第四章 ELA多晶硅薄膜晶体管的仿真研究	第53-67页
4.1 多晶硅薄膜晶体管转移特性曲线的拟合	第53-59页
4.2 ELA器件态密度的变化与能量密度关系	第59-66页
参考文献	第66-67页
第五章结论及未来工作	第67-68页
攻读硕士学位期间发表的论文	第68-69页
致谢	第69-70页

本篇论文共70页，点击这进入下载页面。

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