利用SECM直接模式实现导体表面微区可控加工



利用SECM直接模式实现导体表面微区可控加工

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利用SECM直接模式实现导体表面微区可控加工

论文目录
致谢	第1-7页
摘要	第7-8页
Abstract	第8-13页
第一章绪论	第13-39页
· SECM的发展概况	第13-14页
· SECM的实验装置	第14-16页
· SECM的工作原理	第16-19页
· SECM的工作模式	第19-21页
· SECM在微区加工中的应用	第21-31页
· SECM在微区沉积中的应用	第21-29页
· SECM在微区刻蚀中的应用	第29-31页
· 本论文的研究目的与意义	第31页
参考文献	第31-39页
第二章实验部分	第39-45页
· 实验试剂及基体	第39-40页
· 化学试剂	第39页
· 实验用基体及表面前处理	第39-40页
· 二茂铁甲醇溶液配制	第40页
· 铂沉积液的配制	第40页
· ITO刻蚀液的配制	第40页
· 实验用SECM装置	第40-43页
· 探针	第40-41页
· SECM装置	第41-43页
· 表征方法	第43-45页
· 循环伏安(CV)测试	第43页
· 逼近曲线(Approach Curve)	第43页
· 扫描电子显微镜(SEM)	第43页
· 沉积膜厚度及刻蚀深度测试	第43页
· 线性扫描伏安(LSV)测试	第43-44页
· SECM基底产生-探针收集(SG-TC)模式测试	第44-45页
第三章基于SECM直接模式实现金属铂的微区可控沉积	第45-65页
· 引言	第45-46页
· 实验内容及方法	第46-47页
· 微区电沉积金属铂的方法	第46-47页
· 微区沉积的影响因素	第47页
· 微区沉积膜层的表征	第47页
· 实验结果及讨论	第47-61页
· 铂超微电极的表征	第47-49页
· 不同电位对微区沉积金属铂的影响	第49-53页
· 不同时间对微区沉积金属铂的影响	第53-56页
· 不同氯铂酸浓度对微区沉积金属铂的影响	第56-59页
· 利用SECM的SG-TC模式测试铂微区沉积层的析氢性能	第59-61页
· 本章小结	第61页
参考文献	第61-65页
第四章基于SECM直接模式全电位范围微区刻蚀ITO玻璃	第65-75页
· 引言	第65-66页
· 实验内容及方法	第66-67页
· 微区刻蚀ITO的方法	第66页
· 微区刻蚀的测试条件	第66页
· 微区刻蚀膜层的表征	第66-67页
· 实验结果及讨论	第67-71页
· 全电位范围微区刻蚀的实现	第67-70页
· 全电位范围微区刻蚀机理	第70-71页
· 本章小结	第71页
参考文献	第71-75页
第五章总结与展望	第75-77页
· 总结	第75页
· 展望	第75-77页
附录	第77页

本篇论文共77页，点击这进入下载页面。

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