白光垂直扫描干涉仪控制系统设计及优化



白光垂直扫描干涉仪控制系统设计及优化

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白光垂直扫描干涉仪控制系统设计及优化

论文目录
摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第1章引言	第8-18页
· 课题的研究意义及目的	第8-9页
· 表面形貌光学测量技术方法	第9-12页
· 光学探针法	第9-10页
· 干涉显微法	第10-12页
· 白光干涉技术	第12-15页
· 白光干涉控制系统典型结构	第13-14页
· 白光干涉对焦	第14-15页
· 课题来源	第15页
· 本文的主要研究内容及论文结构安排	第15-18页
第2章白光垂直扫描干涉仪	第18-26页
· 白光垂直扫描干涉原理	第18页
· 白光垂直扫描干涉仪系统结构	第18-20页
· 光学干涉系统	第20-23页
· 干涉仪软件系统	第23-24页
· 本章小结	第24-26页
第3章白光垂直扫描干涉仪运动控制系统的设计	第26-38页
· 白光垂直扫描干涉仪运动控制结构	第26页
· 步进电机单轴驱动器	第26-30页
· 丝杆及导轨的选型	第27-28页
· 步进电机的选型	第28-29页
· 步进电机单轴驱动器的控制	第29-30页
· 压电陶瓷微位移器	第30-37页
· 压电陶瓷的工作原理及特性	第31-33页
· 柔性铰链	第33页
· 压电陶瓷微位移器的控制	第33-34页
· 性能测试	第34-37页
· 本章小结	第37-38页
第4章运动控制系统的优化—白光干涉自动对焦扫描技术	第38-52页
· 白光干涉对焦扫描的特殊性	第38-39页
· 评价函数	第39-42页
· 灰度方差评价函数	第39页
· 梯度评价函数	第39-40页
· 频谱评价函数	第40页
· 评价函数性能对比分析	第40-42页
· 基于图像灰度方差变化的方法	第42-48页
· 自动对焦扫描策略	第42-44页
· 阈值的选取	第44-47页
· 阈值重复性分析	第47-48页
· 白光干涉仪测量性能分析	第48-51页
· 单刻线样板	第49-50页
· 多刻线样板	第50-51页
· 本章小结	第51-52页
第5章总结与展望	第52-54页
· 总结	第52页
· 展望	第52-54页
参考文献	第54-58页
致谢	第58-60页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果	第60 页

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