视觉检测在自动晶圆划片系统中的应用研究



视觉检测在自动晶圆划片系统中的应用研究

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视觉检测在自动晶圆划片系统中的应用研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第1章绪论	第10-20页
· 课题的研究背景和意义	第10-12页
· 课题背景	第10-11页
· 研究意义	第11-12页
· 晶圆划片技术概况	第12-15页
· 晶圆相关介绍	第12-14页
· 晶圆划片机的发展现状与趋势	第14-15页
· 视觉检测系统的研究现状	第15-18页
· 视觉检测技术	第15-16页
· 视觉检测系统的应用现状	第16-18页
· 本文研究的主要内容	第18-20页
第2章系统的硬件结构及控制软件设计	第20-35页
· 系统的整体规划	第20-22页
· 系统的硬件结构设计	第22-28页
· 显微相机	第22-23页
· XY直线平台	第23-24页
· Theta旋转平台	第24-25页
· 紫外激光器	第25页
· 工控机系统	第25-26页
· 相关辅助设备	第26-27页
· 电气控制电路	第27-28页
· 系统的控制软件设计	第28-34页
· 软件系统整体架构	第28-29页
· 模块化程序设计	第29-33页
· 程序的运行过程	第33-34页
· 本章小结	第34-35页
第3章晶圆图像的预处理过程	第35-50页
· 图像的获取	第35-36页
· 图像的灰度化	第36-37页
· 图像的增强	第37-44页
· 灰度变换	第37-40页
· 直方图变换	第40-42页
· 图像平滑滤波	第42-44页
· 基于大津自适应最佳全局阈值的处理	第44-46页
· 图像的阈值处理	第44-45页
· 大津自适应阈值法	第45-46页
· 图像的边缘检测算法	第46-49页
· Sobel算子	第46-47页
· Canny边缘算子	第47-49页
· 本章小结	第49-50页
第4章晶圆的视觉检测定位过程	第50-67页
· 晶圆安装及坐标系确定	第50-52页
· 晶圆的安装	第50-51页
· 坐标系的确定	第51-52页
· 晶圆图像的预处理	第52-53页
· 晶圆特征检测与识别	第53-60页
· Hough变换	第53-57页
· 模板匹配	第57-58页
· 基于Hough直线检测的晶圆定位方法	第58-60页
· 一种晶圆定位角度的校正方法	第60-62页
· 自动划片的路径规划	第62-66页
· 晶圆边界搜索及划片区域确定	第62-63页
· 晶圆划片路径规划	第63-66页
· 本章小结	第66-67页
第5章视觉检测定位系统的误差分析	第67-77页
· 硬件误差	第67-69页
· 运动平台驱动系统的分辨率	第67页
· 平台整体的安装误差	第67-68页
· 机构变形引起的误差	第68页
· 相机的畸变误差	第68-69页
· 图像的噪声误差	第69页
· 软件误差	第69-70页
· 图像的处理算法误差	第69-70页
· 累积误差	第70页
· 基于软件的误差改进方法	第70-76页
· 光栅位置闭环控制	第70页
· 误差补偿方法	第70-72页
· 图像几何失真的校正	第72-74页
· 摄像机的标定	第74-75页
· 图像处理算法的优化	第75页
· 亚像素检测技术	第75-76页
· 本章小结	第76-77页
第6章结论与展望	第77-79页
· 结论	第77-78页
· 工作建议与展望	第78-79页
参考文献	第79-82页
致谢	第82-83页
攻读硕士学位期间发表与已录用的论文	第83 页

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