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多晶硅CVD反应器中新型热管传热性能研究
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多晶硅CVD反应器中新型热管传热性能研究
论文目录
 
摘要第1-5页
abstract第5-10页
第一章 文献综述第10-24页
　　1.1 课题背景第10-11页
　　　　1.1.1 课题来源第10页
　　　　1.1.2 课题研究意义第10-11页
　　1.2 硅烷法简介第11-13页
　　　　1.2.1 硅烷法工艺第11-12页
　　　　1.2.2 硅烷法的优缺点第12-13页
　　1.3 CVD反应器概述第13-16页
　　　　1.3.1 流化床反应器第14页
　　　　1.3.2 西门子反应器第14-16页
　　1.4 热管技术第16-22页
　　　　1.4.1 热管工作原理第16-17页
　　　　1.4.2 热管的分类及特性第17-18页
　　　　1.4.3 热管的应用及研究概况第18-22页
　　1.5 本课题的研究内容及方法第22-24页
第二章 新型CVD反应器中重力热管设计第24-38页
　　2.1 工作介质及管材的选择第24-26页
　　　　2.1.1 工作介质的选择第24-25页
　　　　2.1.2 管壳材料的选择第25-26页
　　2.2 热管尺寸选择第26-29页
　　　　2.2.1 热管工作限制第26-28页
　　　　2.2.2 热管直径第28-29页
　　2.3 特殊结构设计第29-31页
　　2.4 热管强度的有限元分析第31-37页
　　　　2.4.1 模型建立第31-32页
　　　　2.4.2 网格划分第32-34页
　　　　2.4.3 施加载荷并求解第34-35页
　　　　2.4.4 应力线性化分析第35-37页
　　2.5 本章小结第37-38页
第三章 单根热管冷凝段传热特性研究第38-50页
　　3.1 重力热管理论概述第38-41页
　　　　3.1.1 蒸发段机理分析第38-39页
　　　　3.1.2 冷凝段机理分析第39-40页
　　　　3.1.3 热阻模型第40-41页
　　3.2 重力热管凝结换热数值计算第41-48页
　　　　3.2.1 模型理论推导第41-44页
　　　　3.2.2 模型求解方法第44-45页
　　　　3.2.3 计算结果分析第45-48页
　　　　3.2.4 汞热管凝结换热计算第48页
　　3.3 本章小结第48-50页
第四章 新型CVD反应器冷却段数值模拟第50-66页
　　4.1 模型建立第50-52页
　　4.2 模型网格划分第52-53页
　　4.3 Fluent求解器设置第53-57页
　　　　4.3.1 湍流模型及壁面函数选择第53-55页
　　　　4.3.2 水的物性参数设置第55-56页
　　　　4.3.3 边界条件设置第56-57页
　　4.4 模拟结果与讨论第57-65页
　　　　4.4.1 冷却段流场特性第57-58页
　　　　4.4.2 冷却段温度场特性第58-59页
　　　　4.4.3 两种热管长度比的对比第59-61页
　　　　4.4.4 两种入口方位的对比第61-63页
　　　　4.4.5 不同入口速度对比分析第63-65页
　　4.5 本章小结第65-66页
第五章 结论及展望第66-68页
　　5.1 结论第66-67页
　　5.2 展望第67-68页
参考文献第68-72页
附录第72-76页
发表论文和参加科研情况说明第76-77页
致谢第77-78页

本篇论文共78页，点击这进入下载页面。
 
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多晶硅CVD反应器中新型热管传热性能
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