大气压脉冲调制射频放电中活性粒子演化特性的数值模拟研究



大气压脉冲调制射频放电中活性粒子演化特性的数值模拟研究

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大气压脉冲调制射频放电中活性粒子演化特性的数值模拟研究

论文目录
摘要	第1-10页
ABSTRACT	第10-12页
第1章绪论	第12-19页
1.1 等离子体概念	第12页
1.2 等离子体分类	第12-13页
1.3 大气压辉光放电	第13-18页
1.3.1 射频容性放电	第14-16页
1.3.2 微等离子体放电	第16-17页
1.3.3 脉冲调制放电	第17-18页
1.4 本文内容安排	第18-19页
第2章理论模型	第19-24页
2.1 流体模拟的概念	第19页
2.2 流体模拟的方程描述	第19-21页
2.3 功率与功率密度的计算	第21-24页
第3章大气压射频氦气放电的间隙优化	第24-36页
3.1 以功率(功率密度)为输入参数的流体模型	第24-26页
3.2 40.68MHz下最优间隙的选择	第26-33页
3.2.1 宏观电特性随间隙的演化	第26-28页
3.2.2 电子密度和电子温度随间隙的演化	第28-33页
3.3 不同频率下最优间隙的选择	第33-34页
3.4 小结	第34-36页
第4章大气压氦氧低频脉冲调制放电	第36-49页
4.1 仿真模型与放电参数的设置	第36-39页
4.1.1 脉冲调制放电的流体模型	第36-37页
4.1.2 放电参数的设置	第37-39页
4.2 脉冲参数对放电特性的影响	第39-42页
4.2.1 宏观电流随占空比和调制频率的演化特性	第39-40页
4.2.2 微观电子密度和电子温度的演化特性	第40-42页
4.3 脉冲参数对活性氧粒子的影响	第42-47页
4.3.1 基态氧原子的演化特性	第42-44页
4.3.2 激发态氧原子和SDO的演化特性	第44-46页
4.3.3 O_3和O~-的演化特性	第46-47页
4.4 小结	第47-49页
第5章大气压氦氧高频脉冲调制放电	第49-62页
5.1 电流的异常	第49-54页
5.1.1 首个强电流的出现	第49-50页
5.1.2 强电流出现的原因	第50-54页
5.2 占空比对放电特性的影响	第54-60页
5.2.1 电子密度和电子温度的演化特性	第54-58页
5.2.2 活性粒子的演化特性	第58-60页
5.3 小结	第60-62页
第6章结论与展望	第62-64页
6.1 结论	第62-63页
6.2 展望	第63-64页
参考文献	第64-70页
致谢	第70-71页
攻读硕士学位期间发表的学术论文	第71-72页
学位论文评阅及答辩情况表	第72页

本篇论文共72页，点击这进入下载页面。

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