基于准直光束整形的自由曲面设计方法研究



基于准直光束整形的自由曲面设计方法研究

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基于准直光束整形的自由曲面设计方法研究

论文目录
致谢	第1-6页
摘要	第6-8页
Abstract	第8-12页
1 绪论	第12-25页
1.1 非成像光学	第12-16页
1.1.1 非成像光学起源与发展	第12-13页
1.1.2 非成像光学相关概念(边缘光线原理、光学扩展量和能量利用率)	第13-15页
1.1.3 非成像光学应用	第15-16页
1.2 自由曲面非成像光学设计	第16-23页
1.2.1 光学自由曲面	第16-17页
1.2.2 单个自由曲面设计方法概述	第17-21页
1.2.3 双自由曲面设计方法概述	第21-23页
1.3 课题研究内容与创新	第23-25页
2 柱坐标系下的单个自由曲面准直光束整形设计方法	第25-33页
2.1 引言	第25页
2.2 自由曲面光学设计基本定律和设计思路	第25-26页
2.3 柱坐标系下的椭圆型Monge-Ampere方程推导	第26-29页
2.4 数值求解	第29-30页
2.5 柱坐标系下单个自由曲面设计方法验证	第30-32页
2.6 本章小结	第32-33页
3 直角坐标系下的单个自由曲面准直光束整形设计方法	第33-43页
3.1 光刻离轴照明	第33-35页
3.2 直角坐标系下的自由曲面设计方法	第35-37页
3.3 离轴照明设计实例	第37-42页
3.4 本章小结	第42-43页
4 双自由曲面准直光束整形设计方法	第43-55页
4.1 引言	第43-44页
4.2 基于准直光束整形的双自由曲面设计方法	第44-46页
4.3 数值求解	第46-48页
4.4 设计实例	第48-53页
4.5 本章小结	第53-55页
5 基于激光光束整形的双自由曲面设计方法验证	第55-64页
5.1 模拟结果分析	第55-59页
5.2 激光光束整形实验验证	第59-63页
5.3 本章小结	第63-64页
6 总结与展望	第64-67页
6.1 总结	第64-66页
6.2 展望	第66-67页
参考文献	第67-72页
附录1 硕士期间发表论文	第72-73页
附录2 硕士期间申请专利	第73-74页
作者简历	第74页

本篇论文共74页，点击这进入下载页面。

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