小介电常数小热膨胀系数碳化硅陶瓷制备及性能研究



小介电常数小热膨胀系数碳化硅陶瓷制备及性能研究

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小介电常数小热膨胀系数碳化硅陶瓷制备及性能研究

论文目录
摘要	第1-5页
abstract	第5-9页
第一章绪论	第9-15页
1.1 封装材料概述	第9-10页
1.1.1 封装材料的作用及应用价值	第9页
1.1.2 常见陶瓷基板封装材料	第9-10页
1.2 碳化硅陶瓷	第10-13页
1.2.1 常见的碳化硅陶瓷烧结工艺	第10-11页
1.2.2 烧结助剂对碳化硅陶瓷性能的影响	第11-13页
1.3 研究意义及研究内容	第13-15页
第二章实验材料及研究方法	第15-21页
2.1 实验原料	第15-16页
2.2 制备方法	第16-17页
2.3 实验仪器及参数	第17-21页
2.3.1 质量损失率测试	第18页
2.3.2 线收缩率测试	第18-19页
2.3.3 密度的测量	第19页
2.3.4 显气孔率的测量	第19页
2.3.5 物相分析	第19页
2.3.6 显微形貌分析	第19页
2.3.7 介电性能检测分析	第19-20页
2.3.8 热膨胀系数检测分析	第20-21页
第三章 YOCl-MgO-Al_2O_3为烧结助剂对碳化硅陶瓷性能影响	第21-26页
3.1 引言	第21页
3.2 实验方法	第21页
3.3 致密情况	第21-22页
3.4 物相分析	第22-23页
3.5 显微形貌分析	第23-24页
3.6 介电性能检测	第24页
3.7 本章小结	第24-26页
第四章 NdOCl-MgO-Al_2O_3为烧结助剂对碳化硅陶瓷性能影响	第26-31页
4.1 引言	第26页
4.2 实验方法	第26页
4.3 致密情况	第26-27页
4.4 物相分析	第27-28页
4.5 显微形貌分析	第28-29页
4.6 介电性能检测	第29页
4.7 本章小结	第29-31页
第五章 YOCl-CaO为烧结助剂对碳化硅陶瓷性能影响	第31-36页
5.1 引言	第31页
5.2 实验方法	第31页
5.3 致密情况	第31-32页
5.4 物相分析	第32-33页
5.5 显微形貌分析	第33页
5.6 介电性能检测	第33-34页
5.7 热学性能检测	第34-35页
5.8 本章小结	第35-36页
第六章 YbOCl-CaO为烧结助剂对碳化硅陶瓷性能影响	第36-41页
6.1 引言	第36页
6.2 实验方法	第36页
6.3 致密情况	第36-37页
6.4 物相分析	第37-38页
6.5 显微形貌分析	第38页
6.6 介电性能检测	第38-39页
6.7 热学性能检测	第39页
6.8 本章小结	第39-41页
第七章结论与展望	第41-42页
参考文献	第42-51页
致谢	第51-52页
个人简历及在学研究成果	第52-53页
伊犁师范学院硕士研究生学位论文导师评阅表	第53页

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