离子束溅射制备Ta2O3/SiO2薄膜的应力特性研究



离子束溅射制备Ta₂O₃/SiO₂薄膜的应力特性研究

分类：教育论文网→数理科学和化学论文→物理学论文→固体物理学论文→薄膜物理学论文

离子束溅射制备Ta₂O₃/SiO₂薄膜的应力特性研究

论文目录
致谢	第1-4页
摘要	第4-5页
ABSTRACT	第5-8页
第1章绪论	第8-13页
1.1 课题研究背景和意义	第8-9页
1.2 国内外研究现状	第9-12页
1.3 论文概述	第12-13页
第2章离子束溅射技术	第13-23页
2.1 离子束溅射沉积的原理及结构	第13-17页
2.1.1 离子束溅射沉积的原理	第13-15页
2.1.2 离子溅射沉积的系统结构	第15-17页
2.2 离子束溅射技术的工艺参数控制	第17-19页
2.2.1 基板温度的影响	第18页
2.2.2 离子源束压的影响	第18-19页
2.2.3 氧分压的影响	第19页
2.3 光学特性参数的测量	第19-22页
2.3.1 光谱曲线测试	第19-20页
2.3.2 光学常数和厚度的计算	第20-22页
2.4 本章小结	第22-23页
第3章薄膜应力	第23-32页
3.1 光学薄膜的特性	第23-25页
3.1.1 光学特性	第23-25页
3.1.2 机械特性	第25页
3.2 应力的起源	第25-28页
3.2.1 应力的分类	第25-26页
3.2.2 应力的计算与基底曲率	第26-28页
3.3 应力的控制	第28页
3.4 应力的测量方法	第28-31页
3.4.1 扫描激光法	第28-29页
3.4.2 多束光学应力敏感技术	第29-30页
3.4.3 光栅反射法	第30-31页
3.5 本章小结	第31-32页
第4章应力实验研究	第32-57页
4.1 Ta_2O_5单层膜的实验研究	第32-41页
4.1.1 Ta_2O_5单层膜的制备	第32-33页
4.1.2 Ta_2O_5单层膜应力特性研究	第33-41页
4.2 SiO_2单层膜的实验研究	第41-50页
4.2.1 SiO_2单层膜的制备	第41页
4.2.2 SiO_2单层膜的应力特性研究	第41-50页
4.4 高低温冲击实验来释放应力	第50-51页
4.5 多层膜的实验研究	第51-56页
4.5.1 薄膜的制备	第51-52页
4.5.2 实验结果分析	第52-56页
4.6 本章小结	第56-57页
第5章仿真分析	第57-64页
5.1 有限元基本理论	第57-61页
5.1.1 弹性力学中的变量	第57-58页
5.1.2 基本方程	第58-60页
5.1.3 边界条件	第60-61页
5.2 有限元方程的建立	第61-62页
5.2.1 最小势能原理	第61-62页
5.2.2 有限元的分析过程	第62页
5.3 仿真模型的建立	第62-64页
5.4 本章小结	第64页
第6章总结与展望	第64-66页
参考文献	第66-70页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果	第70页

本篇论文共70页，点击这进入下载页面。

更多论文
离子束溅射制备Ta₂O
激光内通道热效应研究
轻量化反射镜支撑结构设计研究
对开式快门的寿命分析与运动特性研
掠入射结构光测量机械研磨面平面度
基于局部特征提取的目标检测与跟踪
基于单目视觉的非合作目标尺度及距
非制冷红外FPA驱动与预处理研究
基于CUDA和OpenCV的快速干涉测量
拼接主镜驱动控制技术研究
用于主动应力加工的力促动器及控制
EMCCD相机热电制冷温度控制系统设计
CMV4000老练电路设计
自然资源丰裕度、制度锁定与中国区
牦牛源轮状病毒的分离鉴定及其VP6基
牦牛源轮状病毒的分离鉴定及其荧光
还原石墨烯泡沫的制备及其在油污吸
藏药黄花獐牙菜根与秦艽花的化学成
β,γ-不饱和α-酮酸酯的不对称Mic
联烯酰胺分子间加成反应的研究
聚多巴胺及其功能化微纳材料在染料
金催化联烯胺与肟的亲核加成反应及
KNN基无铅压电陶瓷的相界设计与电学
刺激响应性聚氨酯胶束的制备及其作
功能化磁性石墨烯泡沫的制备及其在
盐酸黄连素的合成研究
新型智能磁性纳米手性选择剂的设计
工矿废弃地复垦适宜性评价研究——
乳酸菌发酵牦牛肉灌肠过程中主要物
中联重科投资价值分析报告
草原生态补奖政策背景下阿坝州暖棚
基于乡土文化传承的小城镇街道色彩
云南重楼及其多芽品系资源调查、栽
牦牛肠道病毒流行病学调查、分离鉴
一株牦牛源产细菌素植物乳杆菌的分
三江黄牛遗传多样性研究
猪流行性腹泻病毒、Delta冠状病毒和
山羊FGF1、FGF10和FGF21基因表达特
舍饲牦牛饲养投入品安全分析与潜在
犬急性肾功能衰竭模型的建立及两种
NLRC5基因敲低IPEC-J2细胞模型感染
牦牛四个低氧适应基因的遗传多态性
基于单细胞测序的卵丘颗粒细胞中CC
妊娠后期母羊饲粮添加丙酸铬对子代
锌对牦牛卵母细胞减数分裂成熟及其
犏牛新鲜囊胚与玻璃化冷冻囊胚转录
HPV-E6/E7介导的牦牛永生化肾小管上
彝药材红牛膝生药学研究
藏药波棱瓜子总木脂素对小鼠肝切除
我国护理团队心理社会安全氛围研究
文化补偿视角下《红楼梦》人名翻译
桑德拉·希斯内罗丝小说中的奇卡纳
探寻完整生存—从文化记忆视角解读
北美华人新移民文学中的“失语者”
《浮士德》与《道林·格雷的画像》
《死水微澜》中民俗文化的审美研究
清代回族诗人法若真身世交游及其《
从“女学生”到“女作家”——第一
藏族民间纠纷调解习俗中的谚语研究

薄膜应力论文离子束溅射技术论文光学薄膜论文有限元分析论文
版权申明：目录由用户歪歪**提供，www.51papers.com仅收录目录，作者需要删除这篇论文目录请点击这里。
\| 设为首页\|\|加入收藏\|\|站内搜索引擎\|\|站点地图\|\|在线购卡\|
版权所有教育论文网 Copyright(C) All Rights Reserved