薄膜电阻型红外辐射源的仿真设计与加工工艺研究



薄膜电阻型红外辐射源的仿真设计与加工工艺研究

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薄膜电阻型红外辐射源的仿真设计与加工工艺研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章绪论	第8-16页
· 引言	第8-12页
· 红外辐射源	第12-15页
· 主要研究任务	第15-16页
第二章红外辐射源的制备工艺与分析方法	第16-23页
· 微加工与清洗工艺	第16-19页
· MEMS微加工技术	第16-18页
· 等离子气体清洗	第18-19页
· 金属薄膜制备	第19-20页
· 表征与分析方法	第20-23页
· 薄膜厚度测量	第20页
· 薄膜电阻参数测试	第20-23页
第三章红外辐射源的理论分析与模拟	第23-43页
· 红外辐射源辐射理论分析	第23-26页
· 材料选择与结构设计	第26-29页
· 材料选择	第26-28页
· 结构设计	第28-29页
· 红外辐射源的热传递机理	第29-31页
· 红外辐射源热学模拟	第31-42页
· ANSYS分析流程	第31-33页
· 有限元仿真模型的建立	第33-37页
· 红外辐射源稳态热模拟	第37-40页
· 红外辐射源瞬态热模拟	第40-42页
· 小结	第42-43页
第四章红外辐射源的薄膜与结构制备工艺	第43-56页
· 工艺流程	第43-51页
· 清洗与氧化	第44-45页
· 光刻与Pt/Ti金属薄膜制备	第45-47页
· 剥离与刻蚀工艺	第47-51页
· 关键工艺步骤实现	第51-55页
· 湿法刻蚀夹具设计	第51-52页
· 支撑结构释放工艺	第52-55页
· 小结	第55-56页
第五章红外辐射源的响应特性	第56-65页
· 红外辐射源测试系统	第56-57页
· 红外辐射源稳态响应	第57-58页
· 红外辐射源动态响应	第58-59页
· 支撑层厚度的影响	第58-59页
· 频响特性	第59页
· 器件结构性能比较	第59-63页
· 最佳输入功率确定	第61-62页
· 悬臂梁结构选择	第62-63页
· 加热电阻图形选择	第63页
· 小结	第63-65页
第六章结论与展望	第65-67页
· 结论	第65-66页
· 展望	第66-67页
致谢	第67-68页
参考文献	第68-71页
攻硕期间取得的研究成果	第71 页

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