基于二维振镜的激光直写与光电流成像系统研究
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基于二维振镜的激光直写与光电流成像系统研究
论文目录
摘要
第1-6页
abstract
第6-7页
第一章 绪论
第10-20页
1.1 研究背景
第10-12页
1.2 研究现状
第12-18页
1.2.1 激光直写技术简介
第12-14页
1.2.2 光电流成像简介
第14-18页
1.3 研究意义
第18页
1.4 论文主要工作与结构安排
第18-20页
第二章 激光直写与光电流成像的基本原理
第20-29页
2.1 激光直写的基本原理
第20页
2.2 光电流成像系统的基本原理
第20-21页
2.3 扫描与运动控制的原理
第21-26页
2.3.1 光偏转器的介绍
第22-23页
2.3.2 二维振镜扫描技术
第23-26页
2.4 微弱信号检测原理
第26-28页
2.5 本章小结
第28-29页
第三章 基于二维振镜的激光直写与光电流成像系统设计和搭建
第29-48页
3.1 基于二维振镜的激光直写与光电流成像系统设计
第29-37页
3.1.1 系统的光路设计
第29-32页
3.1.2 系统的硬件设计
第32-37页
3.2 基于LabVIEW的软件设计
第37-47页
3.2.1 样品台移动部分
第38-39页
3.2.2 振镜扫描部分
第39-41页
3.2.3 数据采集部分
第41-47页
3.3 本章小结
第47-48页
第四章 激光直写的实验和分析
第48-55页
4.1 激光直写流程
第48-50页
4.2 直写试验与分析
第50-54页
4.2.1 激光光束质量分析
第50-51页
4.2.2 直写参数试验
第51-54页
4.3 本章小结
第54-55页
第五章 光电流成像的测试和优化
第51-66页
5.1 测试数据结果与验证
第55-59页
5.1.1 标准探测器的测试验证
第55-58页
5.1.2 基于Gr/WS_2/Si备异质结光电探测器测试结果
第58-59页
5.2 系统的模块优化
第59-65页
5.2.1 反射信号采集
第59-61页
5.2.2 锁相放大器测试结果
第61-63页
5.2.3 电流前置放大器与锁相放大器联用测试结果
第63-65页
5.3 本章小结
第61-66页
第六章 总结与展望
第66-68页
6.1 全文总结
第66页
6.2 后续工作展望
第66-68页
致谢
第68-69页
参考文献
第69-73页
攻读硕士学位期间取得的成果
第73页
本篇论文共
73
页,
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。
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