CVD金刚石膜残余应力的数值模拟



CVD金刚石膜残余应力的数值模拟

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CVD金刚石膜残余应力的数值模拟

论文目录
摘要	第1-7页
Abstract	第7页
第一章绪论	第10-20页
1.1 金刚石及其性能介绍	第10-13页
1.2 金刚石膜的发展过程及其制备方法	第13-15页
1.3 金刚石和金刚石膜性能对比	第15-17页
1.4 本文的主要内容和研究意义	第17-20页
1.4.1 金刚石膜残余应力研究的国内外现状	第17-18页
1.4.2 已有研究的不足	第18-19页
1.4.3 本文研究意义和研究内容	第19-20页
第二章 CVD金刚石膜中残余应力理论及计算分析	第20-32页
2.1 金刚石膜残余应力产生的原因及影响	第20-21页
2.2 金刚石膜残余应力的测试表征方法	第21-23页
2.3 残余热应力的有限元法计算过程	第23-26页
2.4 残余热应力的数值模拟	第26-32页
2.4.1 数值模型相关假设	第27-29页
2.4.2 数值模型的建立与介绍	第29-32页
第三章基体温度对残余热应力的影响	第32-36页
3.1 计算模型及边界条件	第32页
3.2 结果分析与讨论	第32-36页
第四章基体材料塑性变形对残余热应力的影响	第36-40页
4.1 计算模型及边界条件	第36页
4.2 结果分析及讨论	第36-40页
4.2.1 界面处各向应力沿径向分布情况	第36-37页
4.2.2 膜内不同厚度处的应力沿径向分布情况	第37-39页
4.2.3 界面处各个应力分量受金刚石膜厚度尺寸的影响情况	第39-40页
第五章基体界面拐角对残余热应力的影响	第40-46页
5.1 计算模型及边界条件	第40页
5.2 结果分析及讨论	第40-46页
第六章沉积温度不均衡性对残余热应力的影响	第46-52页
6.1 计算模型及边界条件	第46-47页
6.2 结果分析及讨论	第47-52页
第七章膜/基界面形貌对残余热应力的影响	第52-60页
7.1 计算模型及边界条件	第53-54页
7.2 结果分析及讨论	第54-60页
结论	第60-62页
致谢	第62-63页
参考文献	第63-67页
攻读硕士学位期间发表论文	第67

本篇论文共67页，点击这进入下载页面。

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