柔性化电容式微加工超声换能器的设计与研制



柔性化电容式微加工超声换能器的设计与研制

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柔性化电容式微加工超声换能器的设计与研制

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-11页
第一章绪论	第11-17页
1.1 超声换能器	第11-12页
1.2 电容式超声换能器研究进展	第12-14页
1.3 课题研究的意义和主要内容	第14-16页
1.3.1 研究意义	第14页
1.3.2 研究内容	第14-15页
1.3.3 研究方法	第15-16页
1.4 本章小结	第16-17页
第二章 CMUT工作原理与力电耦合	第17-32页
2.1 基本工作原理	第17-21页
2.1.1 塌陷电压	第17-19页
2.1.2 等效电路	第19-20页
2.1.3 机电耦合系数	第20-21页
2.2 CMUT力电耦合分析	第21-31页
2.2.1 静态分析	第21-25页
2.2.2 模态分析	第25-29页
2.2.3 谐响应分析	第29-31页
2.3 本章小结	第31-32页
第三章 CMUT声学分析与仿真	第32-42页
3.1 声学分析基础	第32-36页
3.1.1 波动方程	第32-33页
3.1.2 流体矩阵	第33-34页
3.1.3 边界吸声	第34-35页
3.1.4 流-固耦合	第35-36页
3.2 CMUT声场仿真分析	第36-41页
3.2.1 声场模型	第36-38页
3.2.2 发射声压	第38-40页
3.2.3 相对带宽	第40-41页
3.3 本章小结	第41-42页
第四章 CMUT结构设计与制备工艺	第42-70页
4.1 CMUT结构参数分析	第42-50页
4.1.1 流体介质	第42-44页
4.1.2 振动薄膜	第44-47页
4.1.3 电极	第47-48页
4.1.4 空腔	第48-49页
4.1.5 绝缘层	第49-50页
4.2 柔性化CMUT设计	第50-52页
4.3 柔性化叠层振膜CMUT设计	第52-59页
4.4 CMUT制备工艺	第59-69页
4.4.1 传统CMUT制备工艺	第59-60页
4.4.2 柔性化CMUT制备工艺	第60-63页
4.4.3 样品CMUT制备工艺	第63-69页
4.5 本章小结	第69-70页
第五章 CMUT测试系统设计与性能测试	第70-83页
5.1 测试系统设计	第70-73页
5.1.1 驱动部分	第70-71页
5.1.2 接收部分	第71-72页
5.1.3 阻抗匹配	第72-73页
5.2 谐振测试	第73-75页
5.3 阻抗测试	第75-76页
5.4 声学测试	第76-82页
5.4.1 发射功能测试	第76-78页
5.4.2 接收功能测试	第78-79页
5.4.3 发射-接收测试	第79-82页
5.5 本章小结	第82-83页
结论	第83-85页
参考文献	第85-91页
攻读硕士学位期间取得的研究成果	第91-92页
致谢	第92-93页
附件	第93页

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