射频离子源研制及引出系统数值模拟



射频离子源研制及引出系统数值模拟

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射频离子源研制及引出系统数值模拟

论文目录
独创性声明	第1 页
学位论文版权使用授权书	第3-4 页
摘要	第4-5 页
ABSTRACT	第5-6 页
目录	第6-8 页
第一章绪论	第8-11 页
· 本课题的研究背景	第8-10 页
· 本文所做主要工作	第10-11 页
第二章研究发展与现状	第11-17 页
· 离子源发展与现状	第11-15 页
· 考夫曼型离子源	第11-12 页
· 霍尔源	第12 页
· ECR源	第12-13 页
· GIS无栅离子源	第13 页
· 高频放电离子源	第13-15 页
· RF离子源的主要优点及参数	第15-16 页
· RF离子源的主要优点	第15 页
· RF离子源的主要参数为	第15-16 页
· 不同种类离子源性能比较	第16-17 页
第三章射频离子源研制	第17-33 页
· RF离子源的工作原理	第17-18 页
· 设备组成	第18-19 页
· 射频离子源设计	第19-20 页
· 放电室	第19 页
· 射频线圈	第19-20 页
· 中和器	第20 页
· 电磁防护及其他	第20 页
· 射频放电必要条件	第20-25 页
· 气体击穿判据	第20-21 页
· 射频离子源磁场有限元分析	第21-25 页
· 射频放电匹配网络	第25-31 页
· 高频离子源工作过程的划分	第31 页
· 小结	第31-33 页
第四章离子源的离子引出系统	第33-59 页
· 等离子鞘层	第33-34 页
· 离子光学设计基础	第34-35 页
· 影响离子源的引出系统的因素	第35-40 页
· 等离子体发射面的形状	第35-37 页
· 影响离子束束流的其他因素	第37-40 页
· 离子引出系统的数值计算	第40-58 页
· 强流离子引出系统数学模型	第40-45 页
· 计算方法	第45-47 页
· 强流离子引出系统数学模拟结果及分析	第47-58 页
· 小结	第58-59 页
结论	第59-61 页
参考文献	第61-63 页
致谢	第63 页

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