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超精密加工表面的白光扫描干涉测量系统研究

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超精密加工表面的白光扫描干涉测量系统研究
论文目录
 
中文摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
第一章 绪论第9-20页
  · 课题的研究目的和意义第9页
  · 国内外超精密加工表面测量方法的研究第9-18页
    · 接触式测量法第10-11页
    · 光学非接触式测量法第11-15页
    · 扫描显微测量法第15-17页
    · 多传感器融合测量法第17-18页
  · 课题的来源和研究现状第18页
  · 本文的主要研究内容及各章安排第18-20页
第二章 白光干涉信号峰值提取算法的研究第20-40页
  · 白光干涉特性第20-22页
  · 白光干涉原理第22-23页
  · 白光干涉信号峰值提取算法第23-36页
    · 重心法第24-25页
    · 包络曲线求解算法第25-29页
    · 空间频域法第29-31页
    · 白光相移法第31-36页
  · 算法分析比较第36-37页
  · 改进的白光干涉信号峰值提取算法第37-39页
  · 本章小结第39-40页
第三章 白光扫描干涉测量系统的设计第40-48页
  · 白光干涉扫描方式第40-41页
    · 垂直扫描方式第40-41页
    · 水平扫描方式第41页
  · 干涉显微镜第41-43页
  · 微位移器第43-45页
  · 光学成像系统第45-46页
  · 白光光源第46-47页
  · 图像采集装置 CCD第47页
  · 本章小结第47-48页
第四章 白光扫描干涉测量系统分析第48-57页
  · 测量系统整体结构第48-49页
  · 干涉系统的分辨率第49-50页
    · 横向分辨率第49页
    · 垂直分辨率第49-50页
  · 系统测量范围第50-51页
    · 横向测量范围第50-51页
    · 垂直测量范围第51页
  · 系统软件设计第51-53页
  · 系统重复性测量精度分析第53-56页
  · 本章小结第56-57页
第五章 表面形貌测量实验与测量误差分析第57-66页
  · 表面形貌测量实验第57-63页
    · 表面形貌的评定第58页
    · 量块测量实验第58-60页
    · 双曲面测量实验第60-63页
  · 白光扫描干涉测量系统误差分析第63-65页
    · PZT 微位移器移位误差第63-64页
    · CCD 响应误差第64页
    · 随机误差第64-65页
  · 本章小结第65-66页
第六章 总结与展望第66-67页
  · 总结第66页
  · 展望第66-67页
参考文献第67-72页
发表论文和参加科研情况说明第72-73页
致谢第73页

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