基于纳米压印技术的亚波长抗反射结构的工艺研究



基于纳米压印技术的亚波长抗反射结构的工艺研究

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基于纳米压印技术的亚波长抗反射结构的工艺研究

论文目录
摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-11页
第一章绪论	第11-22页
· 亚波长结构	第11-15页
· 亚波长结构的研究方法	第12-13页
· 亚波长结构的制造方法	第13-14页
· 亚波长抗反射结构的应用	第14-15页
· 纳米压印技术	第15-20页
· 紫外纳米压印的工艺过程	第16-17页
· 图形转移及聚合物流变	第17-18页
· 刻蚀技术	第18-20页
· 本文研究内容及总体结构	第20-22页
· 本文研究内容	第20页
· 本文总体结构	第20-22页
第二章亚波长抗反射结构的设计	第22-40页
· 严格耦合波方法与等效媒质理论	第22-31页
· 严格耦合波分析法	第22-25页
· 等效媒质理论	第25-31页
· 单双台阶抗反射结构的设计	第31-33页
· 单台阶抗反射结构的设计	第32页
· 多台阶抗反射结构的设计	第32-33页
· 亚波长结构的软件模拟	第33-39页
· 等效媒质理论的有效性分析	第33-35页
· 亚波长浮雕结构的仿真	第35-37页
· 亚波长浮雕结构的优化设计	第37-39页
· 小结	第39-40页
第三章纳米压印工艺的有限元分析	第40-62页
· 聚合物流变理论	第40-45页
· 聚合物流动控制方程及边界条件	第41-42页
· SUPG 计算方法	第42-44页
· 液体表面张力	第44-45页
· 纳米压印过程中聚合物填充机理的研究	第45-53页
· 聚合物填充物理模型	第45-46页
· 聚合物流变行为的仿真结果与分析	第46-51页
· 实验设计与验证	第51-53页
· 纳米压印过程中聚合物填充均匀性研究	第53-61页
· 聚合物填充均匀性物理模型建立	第54-55页
· 仿真结果与分析	第55-59页
· 实验设计	第59-61页
· 结论	第61-62页
第四章亚波长抗反射结构的制备	第62-79页
· 模板的选择及工艺流程	第62-66页
· 模板的选择	第62-63页
· 基于纳米压印的工艺流程	第63-66页
· 单双台阶结构制备的工艺	第66-76页
· 基片表面处理	第66页
· 涂胶	第66-68页
· 压印曝光	第68-69页
· 反应离子刻蚀	第69-72页
· 制备实例	第72-76页
· 台阶结构的抗反射性能测量与对比	第76-78页
· 结论	第78-79页
第五章结论与展望	第79-81页
· 本文主要结论	第79-80页
· 进一步的工作	第80-81页
参考文献	第81-86页
致谢	第86-87页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文	第87页

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