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大扫描范围原子力显微镜的新方法研究及系统研制
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大扫描范围原子力显微镜的新方法研究及系统研制
论文目录
 
摘要第1-4 页
ABSTRACT第4-8 页
第一章 绪论第8-16 页
　　§1．1 纳米科技概述第8-10 页
　　§1．2 扫描探针显微镜的发展第10-14 页
　　　　§1．2．1 传统显微镜的出现及发展第10-12 页
　　　　§1．2．2 扫描隧道显微镜的出现第12-13 页
　　　　§1．2．3 原子力显微镜的出现及其发展第13-14 页
　　§1．3 本课题主要研究内容及成果第14-16 页
第二章 原子力显微镜的基本工作原理第16-34 页
　　§2．1 原子力作用机制第16-21 页
　　§2．2 原子力显微镜的基本原理第21-22 页
　　§2．3 原子力显微镜的工作模式第22-28 页
　　　　§2．3．1 接触模式第22-23 页
　　　　§2．3．2 非接触模式第23-25 页
　　　　§2．3．3 轻敲模式第25-28 页
　　§2．4 微悬臂(探针)及其偏转量的检测方法第28-34 页
　　　　§2．4．1 原子力显微镜的微悬臂及探针的性能第28-30 页
　　　　§2．4．2 微悬臂偏转量的各种检测方法第30-34 页
第三章 大扫描范围原子力显微镜的新方法研究第34-44 页
　　§3．1 压电陶瓷的推拉式控制方法第34-38 页
　　　　§3．1．1 压电陶瓷简介第34-36 页
　　　　§3．1．2 压电陶瓷的推拉式控制方法第36-38 页
　　§3．2 相移式扫描控制方法及电路第38-40 页
　　§3．3 基于微动平台的序列图像扫描及拼接方法第40-44 页
第四章 大扫描范围原子力显微镜系统的研制第44-61 页
　　§4．1 大扫描范围原子力显微镜系统介绍第44-45 页
　　§4．2 扫描机构的设计第45-52 页
　　　　§4．2．1 压电陶瓷驱动器第46-48 页
　　　　§4．2．2 驱动器进给机构第48-50 页
　　　　§4．2．3 微动平台结构设计第50-52 页
　　§4．3 扫描与反馈控制机箱第52-58 页
　　　　§4．3．1 扫描驱动电路第52-53 页
　　　　§4．3．2 PSD及前置放大电路第53-55 页
　　　　§4．3．3 PID反馈控制电路第55-58 页
　　§4．4 图像的获取及显示系统第58-61 页
　　　　§4．4．1 计算机软硬件接口第58-59 页
　　　　§4．4．2 扫描控制及图像捕获软件第59-61 页
第五章 系统分析及性能优化研究第61-71 页
　　§5．1 压电陶瓷的非线性与迟滞效应第61-63 页
　　§5．2 扫描反馈电路的精度影响第63-65 页
　　§5．3 环境对扫描机构的影响第65-67 页
　　§5．4 激光器及PSD性能分析第67-71 页
第六章 大扫描范围原子力显微镜的应用研究第71-78 页
　　§6．1 光栅的纳米结构图像第71-73 页
　　§6．2 多孔氧化铝的纳米结构图像第73-75 页
　　§6．3 序列图像拼接的光栅纳米结构图像第75-76 页
　　§6．4 系统性能总结第76-78 页
第七章 总结与展望第78-80 页
　　§7．1 总结第78-79 页
　　§7．2 课题工作展望第79-80 页
参考文献第80-83 页
硕士在读期间发表的论文第83-84 页
致谢第84 页

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