热激励微机械谐振器闭环自激/检测电路研制



热激励微机械谐振器闭环自激/检测电路研制

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热激励微机械谐振器闭环自激/检测电路研制

论文目录
摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-9页
第1章绪论	第9-17页
· MEMS概述	第9-10页
· MEMS的概念	第9页
· MEMS的发展历程	第9-10页
· MEMS技术的应用领域	第10页
· MEMS谐振器	第10-15页
· MEMS谐振器概述	第10-11页
· MEMS谐振器激励与检测方式	第11-13页
· MEMS谐振器的性能参数	第13-15页
· MEMS谐振器闭环自激谐振频率测试系统的研究意义	第15-16页
· 论文的主要内容	第16-17页
第2章热激励微悬臂梁谐振器的开环特性测试研究	第17-24页
· 微谐振器的制作流程	第17-18页
· 微悬臂梁谐振器的谐振特性分析	第18-19页
· 电热激励微悬臂梁谐振器的谐振频率	第18页
· 电热激励微悬臂梁谐振器的品质因数	第18-19页
· 微谐振器的开环特性测试	第19-23页
· 激励信号与输出信号间的频率关系分析	第19-20页
· 开环特性测试结果	第20-23页
· 本章小结	第23-24页
第3章热激励微谐振器闭环自激谐振频率测试系统研究	第24-40页
· 微谐振器闭环自激谐振频率测试系统概述	第24-25页
· 微谐振器闭环自激谐振频率测试系统总体设计	第25-26页
· 前置放大电路设计	第26-36页
· 恒时延带通滤波器	第26-30页
· 移相器	第30-32页
· 幅值调整电路	第32页
· 波形变换器	第32-34页
· 分频器	第34-36页
· 锁相环(PLL)电路实现方案	第36-39页
· 本章小结	第39-40页
第4章热激励微谐振器闭环自激谐振频率测试	第40-43页
· 微谐振器闭环自激谐振频率的闭环测试结果	第40-41页
· 闭环自激/检测电路稳定性分析	第41-42页
· 本章小结	第42-43页
第5章 MAX038实现无相差频率跟踪功能锁相环电路的优化设计	第43-50页
· 锁相环的工作原理	第43-45页
· 具有无相差频率跟踪功能的锁相环电路优化设计	第45-47页
· 锁相环的优化设计方案	第45-46页
· 环路滤波器元件参数选取	第46-47页
· 锁相环电路的稳态相差分析	第47-48页
· 锁相环实现无相差频率跟踪功能的实验结果	第48-49页
· 本章小结	第49-50页
第6章总结和展望	第50-52页
· 总结	第50-51页
· 展望	第51-52页
致谢	第52-53页
参考文献	第53-57页
附录: 作者在读期间发表的学术论文、发明专利及参加的科研项目	第57 页

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