光刻机精密水温控制系统的监控子系统研究



光刻机精密水温控制系统的监控子系统研究

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光刻机精密水温控制系统的监控子系统研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-11页
第一章绪论	第11-19页
· 课题的来源及意义	第11-12页
· 监控技术的基本概念	第12-13页
· 监控技术和监控系统的产生发展	第13-15页
· 国外发展概况	第13-14页
· 国内发展概况	第14页
· 发展方向	第14-15页
· 监控子系统的设计思想	第15-19页
· 监控系统需求	第15-16页
· 设计原则	第16-18页
· 开发步骤	第18-19页
第二章温控系统平台和采样控制	第19-25页
· 温控系统平台	第19-22页
· 温控系统的主要功能	第19页
· 温控系统的结构	第19-20页
· 温控系统的工作过程	第20-22页
· 主要技术指标	第22页
· 数据采集和控制元件	第22-24页
· 温度采集传感器选型	第22-23页
· 数据采集分配表	第23-24页
· 监控执行元件	第24页
· 本章小结	第24-25页
第三章监控子系统的下位机软件设计	第25-38页
· FX3UC系列可编程控制器及其通讯模块	第25-28页
· 可编程控制器简介	第25页
3.1.2 通讯扩展模块 FX2N-232IF	第25-26页
3.1.3 通讯缓冲存储器 BFM’s	第26-28页
· 温控仪通讯协议	第28-31页
· 通讯概述	第28页
· 通讯协议	第28-31页
· 通讯口的技术数据	第29页
· 通讯前准备：温控调节器参数的设置	第29页
· 通讯命令帧格式	第29-31页
· 可编程控制器软元件分配设计	第31-32页
· 直接监控量	第31页
· 错误日志和弹出窗口	第31-32页
· 可编程控制器与温控仪的通讯设计	第32-36页
· 通讯程序总体设计思路	第32-34页
· 实际程序与调试	第34-36页
· 通讯实测和可靠性	第36-38页
· 可编程控制器和温控仪的连接	第36页
· 输入抗干扰	第36-37页
· 输入输出间的抗干扰	第37页
· 软件防跑飞	第37-38页
第四章监控子系统的本地监控软件设计	第38-56页
· 上位机系统概述	第38-39页
· 上位机系统一般概念	第38页
· 上位机设计目标	第38-39页
· 本地监控的软硬件介绍	第39-40页
4.2.1 人机界面 HMI 简介	第39页
4.2.2 人机界面 HMI 编程软件 Easy Builder 8000 简介	第39-40页
· 本地监控的系统设计	第40-53页
· 可视化设计	第40-48页
· 变量及通讯数据库的建立	第48-53页
· 温度趋势图	第48-49页
· 报警故障事件	第49-50页
· 语言显示切换	第50页
· 错误日志	第50-52页
· 其它资料传输方式	第52-53页
· 本地监控的通讯连接和监控功能实现	第53-56页
· 硬件连接	第53页
· 软件握手	第53-54页
· 通讯实测	第54-56页
第五章监控子系统的远程监控软件设计	第56-67页
· 远程监控的意义	第56页
· 远程监控涉及的技术手段	第56-60页
· 串口通信控件介绍	第56-58页
5.2.2 双缓冲绘图技术和 Bitblt 函数介绍	第58页
5.2.3 可重用软件组件 ActiveX，OLE，OCX	第58-59页
5.2.4 涉及的部分 VB 函数	第59-60页
· 远程监控软件设计	第60-65页
· 全局变量定义	第60页
· 全系统初始化	第60页
· 串口事件的建立	第60-61页
· 通讯模式的切换	第61页
5.3.5 测量温度值 PV 的读取	第61-62页
5.3.6 目标温度值 SV 的设定	第62-63页
· 温度曲线的动态显示和数据文件读写	第63-64页
· 测试区	第64页
5.3.9 状态指示区、PID 参数设置、状态号设定区	第64-65页
· 远程监控的硬件连接方法和实测	第65-67页
· 硬件连接	第65-66页
· 远程监控软件实际运行情况	第66-67页
第六章总结与展望	第67-69页
· 论文主要工作	第67-68页
· 未来工作展望	第68-69页
致谢	第69-70页
参考文献	第70-73页
攻硕期间取得的研究成果	第73-74 页

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