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非晶ZnTiSnO薄膜的制备及薄膜晶体管性能研究

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非晶ZnTiSnO薄膜的制备及薄膜晶体管性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 引言第10-14页
第二章 文献综述第14-30页
  · 非晶氧化物半导体第14-19页
    · AOS材料基础第14-17页
    · AOS薄膜制备技术第17-19页
  · 薄膜晶体管第19-28页
    · TFT器件基础第19-24页
    · TFT器件性能优化第24-25页
    · AOS TFT器件应用研究进展第25-28页
  · 选题依据和研究内容第28-30页
第三章 实验方法与表征方式第30-36页
  · 溶液燃烧法制备薄膜技术第30-32页
    · 溶液燃烧法的制备原理第30-31页
    · 溶液燃烧法的工艺过程第31-32页
  · 实验过程第32-33页
    · 实验试剂和仪器第32页
    · 衬底清洗第32-33页
    · 溶胶制备第33页
  · 表征方式第33-36页
    · 溶胶性能的表征方式第33-34页
    · 薄膜性能的表征方式第34页
    · 器件性能的表征方式第34-36页
第四章 非晶ZnTiSnO薄膜的制备及性能研究第36-48页
  · 引言第36页
  · ZTTO溶胶的化学反应第36-37页
  · 非晶ZTTO薄膜的制备第37-38页
  · 非晶ZTTO薄膜的性能第38-45页
    · a-ZTTO薄膜的晶体结构第38-39页
    · a-ZTTO薄膜的表面形貌第39-41页
    · a-ZTTO薄膜的成分分布第41-43页
    · a-ZTTO薄膜的光学特性第43页
    · a-ZTTO薄膜的元素化学态第43-45页
  · 本章小结第45-48页
第五章 非晶ZnTiSnO薄膜晶体管的制备及性能研究第48-56页
  · 引言第48页
  · 非晶ZTTO薄膜晶体管的制备第48-49页
  · 非晶ZTTO薄膜晶体管的性能第49-54页
    · 二次退火对a-ZTTO TFT性能影响第49-51页
    · 沟道宽长比对a-ZTTO TFT性能影响第51页
    · Ti掺杂量对a-ZTTO TFT性能影响第51-53页
    · Ti掺杂对a-ZTTO TFT稳定性影响第53-54页
  · 本章小结第54-56页
第六章 非晶ZnSnO薄膜晶体管的紫外探测应用第56-64页
  · 引言第56-57页
  · 非晶ZnSnO TFT的紫外探测性能第57-62页
    · a-ZnSnO TFT的UV响应第57-59页
    · a-ZnSnO TFT的UV恢复第59-61页
    · a-ZnSnO TFT的UV探测机理第61-62页
  · 本章小结第62-64页
第七章 结论与展望第64-66页
  · 结论第64-65页
  · 创新点第65页
  · 展望第65-66页
参考文献第66-74页
致谢第74-76页
个人简历第76-78页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果第78页

本篇论文共78页,点击这进入下载页面
 
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