非晶ZnTiSnO薄膜的制备及薄膜晶体管性能研究



非晶ZnTiSnO薄膜的制备及薄膜晶体管性能研究

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非晶ZnTiSnO薄膜的制备及薄膜晶体管性能研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
第一章引言	第10-14页
第二章文献综述	第14-30页
· 非晶氧化物半导体	第14-19页
· AOS材料基础	第14-17页
· AOS薄膜制备技术	第17-19页
· 薄膜晶体管	第19-28页
· TFT器件基础	第19-24页
· TFT器件性能优化	第24-25页
· AOS TFT器件应用研究进展	第25-28页
· 选题依据和研究内容	第28-30页
第三章实验方法与表征方式	第30-36页
· 溶液燃烧法制备薄膜技术	第30-32页
· 溶液燃烧法的制备原理	第30-31页
· 溶液燃烧法的工艺过程	第31-32页
· 实验过程	第32-33页
· 实验试剂和仪器	第32页
· 衬底清洗	第32-33页
· 溶胶制备	第33页
· 表征方式	第33-36页
· 溶胶性能的表征方式	第33-34页
· 薄膜性能的表征方式	第34页
· 器件性能的表征方式	第34-36页
第四章非晶ZnTiSnO薄膜的制备及性能研究	第36-48页
· 引言	第36页
· ZTTO溶胶的化学反应	第36-37页
· 非晶ZTTO薄膜的制备	第37-38页
· 非晶ZTTO薄膜的性能	第38-45页
· a-ZTTO薄膜的晶体结构	第38-39页
· a-ZTTO薄膜的表面形貌	第39-41页
· a-ZTTO薄膜的成分分布	第41-43页
· a-ZTTO薄膜的光学特性	第43页
· a-ZTTO薄膜的元素化学态	第43-45页
· 本章小结	第45-48页
第五章非晶ZnTiSnO薄膜晶体管的制备及性能研究	第48-56页
· 引言	第48页
· 非晶ZTTO薄膜晶体管的制备	第48-49页
· 非晶ZTTO薄膜晶体管的性能	第49-54页
· 二次退火对a-ZTTO TFT性能影响	第49-51页
· 沟道宽长比对a-ZTTO TFT性能影响	第51页
· Ti掺杂量对a-ZTTO TFT性能影响	第51-53页
· Ti掺杂对a-ZTTO TFT稳定性影响	第53-54页
· 本章小结	第54-56页
第六章非晶ZnSnO薄膜晶体管的紫外探测应用	第56-64页
· 引言	第56-57页
· 非晶ZnSnO TFT的紫外探测性能	第57-62页
· a-ZnSnO TFT的UV响应	第57-59页
· a-ZnSnO TFT的UV恢复	第59-61页
· a-ZnSnO TFT的UV探测机理	第61-62页
· 本章小结	第62-64页
第七章结论与展望	第64-66页
· 结论	第64-65页
· 创新点	第65页
· 展望	第65-66页
参考文献	第66-74页
致谢	第74-76页
个人简历	第76-78页
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果	第78页

本篇论文共78页，点击这进入下载页面。

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