ITO图形短路检查仪中精密运动平台的设计与研究



ITO图形短路检查仪中精密运动平台的设计与研究

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ITO图形短路检查仪中精密运动平台的设计与研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-10页
1 绪论	第10-17页
· 课题的研究背景及课题来源	第10-12页
· 精密运动平台国内外发展现状	第12-15页
· 精密加工技术	第12页
· 精密运动平台的分类和用途	第12页
· 精密运动平台国内外发展现状	第12-15页
· 主要研究内容	第15-17页
2 精密运动平台相关理论	第17-33页
· 精密运动台概论	第17-18页
· 精密运动平台的驱动方式	第18-24页
· 高速、高精度直线驱动技术	第18页
· 间接驱动技术	第18-23页
· 直接驱动技术	第23-24页
· 精密运动平台的直线导向技术	第24-31页
· 直线导轨的分类和特点	第25页
· 导轨的基本性能要求	第25-27页
· 导轨受力分析	第27-29页
· 滚动摩擦导轨	第29-31页
· 精密运动平台的结构型式	第31-32页
· 本章小结	第32-33页
3 运动平台机械结构设计	第33-55页
· 精密运动平台的设计技术要求	第33-36页
· ITO 图形短路检查仪的工作原理	第33-35页
· 精密运动平台的技术要求	第35-36页
· 精密运动平台设计方案的确定	第36-37页
· 精密运动平台重要部件的设计	第37-54页
· 驱动部分的设计	第37-49页
· 工作台旋转部分结构的设计	第49-51页
· X-Y-θ调整部件的设计	第51-53页
· 工作台板的设计	第53-54页
· 精密运动平台结构的设计	第54页
· 本章小结	第54-55页
4 精密运动平台关键部件的结构分析	第55-72页
· 仪器精度理论	第55-56页
· 驱动部件滚动导轨的分析	第56-66页
· 滚动导轨精度及影响因素	第56-57页
· 滚动导轨的位移分辩率分析原理	第57-58页
· 驱动部分滚动导轨的静力学仿真	第58-62页
· 驱动部分滚动导轨的模态分析	第62-66页
· 驱动部分的有限元分析	第66-71页
· 驱动部分的静力学分析	第66-69页
· 驱动部分的模态分析	第69-71页
· 本章小结	第71-72页
5 精密运动平台实验研究	第72-82页
· 精密运动平台实验系统的组成	第72-77页
· 实验	第77-81页
· 本章小结	第81-82页
6 结论与展望	第82-84页
· 本文总结	第82-83页
· 未来展望	第83-84页
参考文献	第84-89页
攻读硕士学位期间发表的论文	第89-90页
致谢	第90-91页

本篇论文共91页，点击这进入下载页面。

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