ECR离子源主要参数对离子束流影响的研究



ECR离子源主要参数对离子束流影响的研究

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ECR离子源主要参数对离子束流影响的研究

论文目录
摘要	第1-5 页
ABSTRACT	第5-9 页
第一章绪论	第9-12 页
· 课题选取的依据和目的	第9 页
· 国内外研制现状	第9-10 页
· 论文的章节安排	第10-12 页
第二章 ECR离子源	第12-18 页
· 电子回旋共振(ECR)原理	第12-14 页
· ECR离子源工作原理	第14-15 页
· 低温等离子体的产生	第15 页
· ECR离子源实验台结构	第15-17 页
· 本章总结	第17-18 页
第三章 ECR离子源主要参数测量和调试	第18-33 页
· 微波功率测试方法和调试	第18-21 页
· 真空系统测试方法和调试	第21-22 页
· 放电室磁场的测量和分析	第22-23 页
· 等离子体参数测量	第23-31 页
· 本章小结	第31-33 页
第四章 ECR离子源主要部件结构分析和局部改进	第33-54 页
· ECR离子源的微波功率	第33-47 页
· ECR离子源中微波功率的作用	第33-34 页
· 微波传输的主要特性	第34-35 页
· 矩形过渡波导	第35-38 页
· 微波输入窗	第38-42 页
· 微波输入窗的改进	第42-47 页
· ECR离子源的磁场	第47-51 页
· ECR离子源中磁场的作用	第47 页
· 约束磁场的结构	第47-49 页
· ECR离子源简单磁镜结构的改进	第49-51 页
· ECR离子源的真空系统	第51 页
· 自动控制系统	第51-53 页
· 本章小结	第53-54 页
第五章 ECR离子源主要参数和离子束流之间关系	第54-61 页
· 空载时微波入射功率与反射功率的关系	第54-55 页
· 微波功率与离子束流得关系	第55-58 页
· 气体压强与离子束流的关系	第58-59 页
· ECR离子源调试主要参数优化值	第59-60 页
· 本章总结	第60-61 页
第六章总结和展望	第61-63 页
· 总结	第61-62 页
· 展望	第62-63 页
致谢	第63-64 页
参考文献	第64-66 页
攻硕期间取得的研究成果	第66 页

本篇论文共66页，点击这进入下载页面。

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