纳米硅/氮化硅微结构发光机制研究



纳米硅/氮化硅微结构发光机制研究

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纳米硅/氮化硅微结构发光机制研究

论文目录
摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章绪论	第9-18页
· 研究背景	第9-10页
· 纳米半导体材料基本结构和性质	第10-12页
· 纳米硅镶嵌结构薄膜研究进展	第12-15页
· 本工作的意义和主要研究内容	第15-18页
第2章基础理论、实验原理及技术	第18-35页
· 纳米硅结构发光的基础理论	第18-23页
· 实验原理	第23-25页
· 实验技术	第25-27页
· 常规实验检测技术	第27-35页
第3章光热偏转光谱(PDS)技术	第35-43页
· PDS实验原理	第35-36页
· PDS实验系统的建立	第36-38页
· PDS测量结果及其理论修正	第38-42页
· 本章小结	第42-43页
第4章纳米硅/氮化硅薄膜的微结构特性分析	第43-62页
· 纳米硅/氮化硅样品制备	第43-44页
· 纳米硅/氮化硅薄膜的结构特性	第44-54页
· 纳米硅/氮化硅微结构的带隙及带尾特性	第54-58页
· 纳米硅/氮化硅微结构的光致发光	第58-60页
· 本章小结	第60-62页
第5章纳米硅/氮化硅的可调光致发光及量子限制效应	第62-79页
· 纳米硅/氮化硅薄膜制备及H2环境热退火	第62页
· 纳米硅/氮化硅薄膜的结构特性	第62-64页
· 纳米硅/氮化硅微结构薄膜的能带展宽特性	第64-67页
· 纳米硅/氮化硅薄膜的可调光致发光特性	第67-69页
· 纳米硅量子限制效应发光的数值模拟	第69-72页
· 纳米硅发光的温度特性	第72-77页
· 本章小结	第77-79页
第6章纳米硅/氮化硅微观结构的调整及发光机制研究	第79-95页
· 纳米硅/氮化硅样品制备	第79页
· 氢对纳米硅/氮化硅薄膜微观结构的调整及纳米硅的晶化	第79-83页
· 纳米硅/氮化硅微结构的能带结构及缺陷特性	第83-85页
· 氮化硅中纳米晶硅的光致发光特性	第85-86页
· 纳米硅/氮化硅微结构的发光机制	第86-93页
· 本章小结	第93-95页
结束语	第95-98页
参考文献	第98-106页
攻读博士学位期间发表论文	第106-108页
致谢	第108 页

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