多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究



多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究

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多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究

论文目录
摘要	第1-6 页
Abstract	第6-12 页
引言	第12-13 页
1 课题综述	第13-18 页
· 课题的提出	第13-14 页
· 课题的研究内容	第14-15 页
· 课题的难点	第15-16 页
· 课题的意义	第16 页
· 本章小结	第16-18 页
2 多学科设计优化	第18-24 页
· 多学科设计优化的基本概念	第18-19 页
· 多学科设计优化方法与传统优化方法的区别	第19-20 页
· 多学科设计优化框架模型	第20-23 页
· 单级优化设计方法	第20-21 页
· 多级优化设计方法	第21-23 页
· 本章小结	第23-24 页
3 微机电系统的设计	第24-35 页
· 微机电系统概述	第24-29 页
· 微机电系统的特点	第24-25 页
· MEMS 的加工工艺	第25-27 页
· MEMS 的典型器件及应用	第27-29 页
· 微机电系统的设计技术	第29-32 页
· 微机电系统设计中面临的问题	第29-30 页
· 微机电系统多物理域耦合设计的方法	第30-32 页
· 微机电系统的多学科设计优化	第32-34 页
· 复杂系统的分类	第32 页
· 微机电系统的多学科设计优化所需解决的问题	第32-33 页
· 微机电系统的多学科设计优化的基本思路	第33-34 页
· 本章小结	第34-35 页
4 微机电系统的多学科设计优化系统MMDOS	第35-42 页
· 系统的总体结构	第35-36 页
· 系统的组成	第36-40 页
· 用户界面	第36 页
· 前处理	第36 页
· MMDOS 驱动系统	第36-37 页
· MMDOS 算法库	第37-39 页
· 数据库	第39 页
· 后处理模块	第39-40 页
· 系统的特点	第40 页
· 本章小结	第40-42 页
5 多学科变量耦合优化设计方法	第42-66 页
· 总体思路	第42-43 页
· 系统分解	第43-44 页
· 子系统建模	第44-49 页
· 子系统间耦合关系的分析	第45-47 页
· 子系统耦合变量的替代	第47-49 页
· 系统级协调	第49-57 页
· 理想耦合点的确定	第49-52 页
· 多个子系统的耦合情况	第52-55 页
· 耦合函数的构造	第55-57 页
· 多学科变量耦合优化设计方法的系统模型	第57-59 页
· 多学科变量耦合优化设计算法的工作流程	第59-64 页
· 多学科变量耦合优化设计算法的子系统优化算法	第64 页
· 本章小结	第64-66 页
6 梳齿式微机械加速度计的多学科设计及优化	第66-97 页
· 工作原理	第66 页
· 设计分析	第66-83 页
· 折叠梁的强度分析	第66-68 页
· 折叠梁的刚度及模态频率	第68-73 页
· 结构粘附问题的研究	第73-77 页
· 分辨率	第77-78 页
· 静电负刚度	第78-79 页
· 最大量程	第79 页
· 热分析	第79-83 页
· 梳齿式微加速度计两个子系统的优化设计	第83-88 页
· 优化模型的建立	第83-86 页
· 子系统优化工具的选择	第86 页
· 优化结果及分析	第86-88 页
· 梳齿式微加速度计三个子系统的优化设计	第88-95 页
· 优化模型的建立	第89-92 页
· 优化结果及仿真分析	第92-95 页
· 本章小结	第95-97 页
7 扭摆式微机械加速度计的多学科设计及优化	第97-112 页
· 工作原理	第97-98 页
· 设计分析	第98-104 页
· 支撑梁的强度分析	第98-100 页
· 刚度及模态频率分析	第100-102 页
· 结构粘附问题的研究	第102-104 页
· 分辨率、静电负刚度和最大量程	第104 页
· 扭摆式微加速度计的优化设计	第104-110 页
· 优化模型的建立	第104-108 页
· 优化结果及分析	第108-110 页
· 本章小结	第110-112 页
8 结论与展望	第112-115 页
· 结论	第112-113 页
· 课题的创新点	第113 页
· 展望	第113-115 页
参考文献	第115-123 页
附录A 矩形截面杆扭转时的系数α、β和ν	第123-124 页
附录B 梳齿式微加速度计多学科优化设计过程数据	第124-125 页
附录C 扭摆式微加速度计多学科优化设计过程数据	第125-127 页
在学研究成果	第127-128 页
致谢	第128页

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