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集成电路Cu互连工艺中的Ta基扩散阻挡层研究
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集成电路Cu互连工艺中的Ta基扩散阻挡层研究
论文目录
 
中文摘要第1-7 页
第一章 引言第7-25 页
　　1．1 互连的定义和面临的挑战第7-9 页
　　1．2 Cu金属化第9-12 页
　　1．3 阻挡层材料第12-17 页
　　1．4 Cu互连工艺第17-22 页
　　1．5 Cu互连的应用和发展状况第22-23 页
　　1．6 本论文的主要研究工作第23-25 页
第二章 实验原理第25-35 页
　　2．1 样品制备方法第25-28 页
　　　　2．1．1 溅射工艺第25-26 页
　　　　2．1．2 CVD工艺．第26 页
　　　　2．1．3 离子注入工艺第26-28 页
　　2．2 样品组织结构分析方法第28-34 页
　　　　2．2．1 电子显微镜第29-34 页
　　　　2．2．2 其他分析技术第34 页
　　2．3 本论文的主要实验手段第34-35 页
第三章 Ta/Cu/Ta/Si-sub系统第35-62 页
　　3．1 有关Ta扩散阻挡层的文献回顾第35-36 页
　　3．2 样品设计第36 页
　　3．3 实验结果与讨论第36-58 页
　　　　3．3．1 薄膜电阻四探针法测量第36-37 页
　　　　3．3．2 表面形貌SEM测量第37-39 页
　　　　3．3．3 深度分布RBS测量第39-40 页
　　　　3．3．4 界面与微结构TEM观察第40-44 页
　　　　3．3．5 氧在样品中的含量与分布第44-46 页
　　　　3．3．6 O对Cu在Ta1和Ta2层中热扩散的影响第46-49 页
　　　　3．3．7 Cu在Ta中的晶界扩散第49-58 页
　　3．4 热动力学讨论第58-61 页
　　3．5 总结第61-62 页
第四章 Cu/TaN/Si-sub系统第62-77 页
　　4．1 有关TaN的文献回顾第62 页
　　4．2 样品设计第62-63 页
　　4．3 实验结果与讨论第63-74 页
　　　　4．3．1 表面形貌SEM测量第63-64 页
　　　　4．3．2 深度分布RBS测量第64-66 页
　　　　4．3．3 界面与微结构TEM观察第66-71 页
　　　　4．3．4 深度分布EDS测量第71-72 页
　　　　4．3．5 Cu在TaN薄膜中的晶界扩散第72-74 页
　　4．4 热动力学讨论第74-76 页
　　4．5 总结第76-77 页
第五章 注入工艺Ta-N阻挡层第77-98 页
　　5．1 有关注入阻挡层的文献回顾第77 页
　　5．2 样品设计第77-78 页
　　5．3 实验结果与讨论第78-95 页
　　　　5．3．1 薄膜电阻四探针法测量第78-79 页
　　　　5．3．2 表面形貌SEM测量第79-84 页
　　　　5．3．3 深度分布RBS测量第84-86 页
　　　　5．3．4 深度分布SIMS测量第86-89 页
　　　　5．3．5 剖面样品TEM观测第89-95 页
　　5．4 离子注入对Ta扩散阻挡层的影响第95-97 页
　　　　5．4．1 Ta的非晶化第95-96 页
　　　　5．4．2 离子注入的损伤第96-97 页
　　5．5 总结第97-98 页
第六章 结论第98-101 页
参考文献第101-107 页
致谢第107-108 页

本篇论文共108页，点击这进入下载页面。
 
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