论文目录 | |
| 中文摘要 | 第13-17
页 |
| ABSTRACT | 第17-22
页 |
| 符号说明 | 第22-23
页 |
| 第一章 绪论 | 第23-62
页 |
| · 概述 | 第23-24
页 |
| · 透明导电薄膜的基本特性 | 第24-27
页 |
| · 透明导电金属薄膜 | 第24-25
页 |
| · 透明导电氧化物薄膜 | 第25-26
页 |
| · 有机透明导电薄膜 | 第26-27
页 |
| · 透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第27-36
页 |
| · SnO2薄膜及其掺杂体系 | 第27-29
页 |
| · In2O3薄膜及其掺杂体系 | 第29-33
页 |
| · ZnO薄膜及其掺杂体系 | 第33-36
页 |
| · 其他透明导电氧化物薄膜 | 第36
页 |
| · 透明导电氧化物薄膜的制备方法 | 第36-44
页 |
| · 真空蒸发镀膜 | 第37
页 |
| · 溅射镀膜 | 第37-39
页 |
| · 离子成膜技术 | 第39-41
页 |
| · 化学气相沉积 | 第41
页 |
| · 脉冲激光沉积 | 第41-42
页 |
| · 溶胶-凝胶法 | 第42-43
页 |
| · 喷涂热分解法 | 第43-44
页 |
| · 透明导电氧化物薄膜的应用 | 第44-45
页 |
| · 多层透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第45-52
页 |
| · 金属基三明治结构透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第45-49
页 |
| · 具有缓冲层的透明导电氧化物薄膜的研究现状 | 第49-52
页 |
| · 本论文的主要研究内容 | 第52-55
页 |
| 参考文献 | 第55-62
页 |
| 第二章 薄膜制备及表征方法 | 第62-78
页 |
| · 制备方法及原理 | 第62-70
页 |
| · 磁控溅射 | 第62-63
页 |
| · 溅射原理 | 第63-67
页 |
| · 离子束溅射 | 第67-68
页 |
| · MIS-560B型超高真空磁控溅射与离子束溅射复合镀膜设备 | 第68-70
页 |
| · 表征方法及原理 | 第70-77
页 |
| · 薄膜电学特性的测量 | 第70-72
页 |
| · 薄膜厚度的测量 | 第72-73
页 |
| · 薄膜光学特性的测量 | 第73-74
页 |
| · 薄膜相结构分析 | 第74-75
页 |
| · 薄膜形貌分析 | 第75-77
页 |
| · 小结 | 第77
页 |
| 参考文献 | 第77-78
页 |
| 第三章 GZO/Ag/GZO多层透明导电薄膜的制备与特性研究 | 第78-109
页 |
| · 样品制备 | 第78-81
页 |
| · TCO/M/TCO结构多层膜的光学特性理论 | 第81-88
页 |
| · 金属薄膜的光学特性 | 第81-84
页 |
| · 多层膜的光学特性 | 第84-88
页 |
| · TCO/M/TCO结构多层膜的电学特性理论 | 第88-91
页 |
| · 各层厚度对GZO/Ag/ZO多层膜特性的影响 | 第91-102
页 |
| · Ag层厚度对GZO/Ag/GZO多层膜特性的影响 | 第92-96
页 |
| · 上层GZO厚度对GZO/Ag/GZO多层膜特性的影响 | 第96-100
页 |
| · 下层GZO厚度对GZO/Ag/GZO多层膜特性的影响 | 第100-102
页 |
| · 真空退火对GZO/Ag/GZO多层膜特性的影响 | 第102-106
页 |
| · 真空退火对GZO/Ag/GZO多层膜结构特性的影响 | 第102-105
页 |
| · 真空退火对GZO/Ag/GZO多层膜光电特性的影响 | 第105-106
页 |
| · 小结 | 第106-107
页 |
| 参考文献 | 第107-109
页 |
| 第四章 具有缓冲层的ITO和AZO薄膜的制备与特性研究 | 第109-130
页 |
| · TiO_2/ITO薄膜的特性研究 | 第109-116
页 |
| · 样品制备 | 第110-112
页 |
| · ZiO_2厚度对TiO_2/ITO双层薄膜结构特性的影响 | 第112-114
页 |
| · ZiO_2厚度对TiO_2/ITO双层薄膜电学特性的影响 | 第114-116
页 |
| · ZiO_2厚度对TiO_2/ITO双层薄膜光学特性的影响 | 第116
页 |
| · ITO/ITO薄膜的特性研究 | 第116-121
页 |
| · 样品制备 | 第116-118
页 |
| · ITO缓冲层厚度对ITO/ITO双层薄膜结构特性的影响 | 第118-120
页 |
| · ITO缓冲层厚度对ITO/ITO双层薄膜电学特性的影响 | 第120-121
页 |
| · ITO缓冲层厚度对ITO/ITO双层薄膜光学特性的影响 | 第121
页 |
| · AZO/AZO薄膜的特性研究 | 第121-127
页 |
| · 样品制备 | 第122-123
页 |
| · AZO缓冲层厚度对AZO/AZO双层薄膜结构特性的影响 | 第123-125
页 |
| · AZO缓冲层厚度对AZO/AZO双层薄膜电学特性的影响 | 第125-126
页 |
| · AZO缓冲层厚度对AZO/AZO双层薄膜光学特性的影响 | 第126-127
页 |
| · 小结 | 第127-128
页 |
| 参考文献 | 第128-130
页 |
| 第五章 YZO透明导电薄膜的制备 | 第130-140
页 |
| · YZO透明导电薄膜的制备与测试 | 第131-133
页 |
| · YZO薄膜的制备 | 第131-133
页 |
| · YZO薄膜的测试 | 第133
页 |
| · YZO透明导电薄膜的特性研究 | 第133-137
页 |
| · 小结 | 第137-138
页 |
| 参考文献 | 第138-140
页 |
| 第六章 总结 | 第140-143
页 |
| · 主要结果 | 第140-142
页 |
| · 主要创新点 | 第142-143
页 |
| 附图、表目录 | 第143-147
页 |
| 致谢 | 第147-148
页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第148-150
页 |
| 附录:发表英文论文 | 第150-159
页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第159
页 |
