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ZnO薄膜的取向、缺陷、结构及光学性质的研究
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ZnO薄膜的取向、缺陷、结构及光学性质的研究
论文目录
 
第一章 前言第1-42 页
　　· 引言第9-13 页
　　· ZnO材料的紫外受激发射研究第13-20 页
　　· ZnO材料的基本性质第20-23 页
　　· ZnO薄膜的特性第23-25 页
　　· ZnO薄膜的应用第25-28 页
　　· ZnO薄膜的生长方法第28-32 页
　　· 本论文的主要研究内容第32-34 页
　　本章参考文献第34-42 页
第二章 ZnO薄膜的制备方法及表征方法的简单介绍第42-59 页
　　· ZnO薄膜的MOCVD反应体系的制备方法简介第42-48 页
　　　　· ZnO薄膜MOCVD的源材料第43-44 页
　　　　· ZnO薄膜的MOCVD反应体系第44-48 页
　　· ZnO薄膜的化学气相传输制备方法简介第48-49 页
　　　　· 化学气相传输反应的装置第48 页
　　　　· ZnO薄膜的化学气相传输的催化剂的变化第48-49 页
　　· 表征手段的简单介绍第49-57 页
　　　　· X射线衍射谱第49-51 页
　　　　· 电子显微镜第51-52 页
　　　　· 扫描探针显微镜(SPM)第52 页
　　　　· X射线光电子能谱(XPS)第52-54 页
　　　　· 透射和吸收光谱第54-55 页
　　　　· 微区光致发光谱第55-57 页
　　本章参考文献第57-59 页
第三章 MOCVD体系中蓝宝石衬底的薄膜结构及光学性质第59-106 页
　　· ZnO薄膜在蓝宝石Al_2O_3(0006)衬底上生长第59-60 页
　　　　· 样品的制备第59-60 页
　　· 不同衬底温度的ZnO膜的结构和光学性质第60-80 页
　　　　· X射线结果分析温度对结构的影响第61-74 页
　　　　· 温度对表面形貌的影响第74-77 页
　　　　· 温度对光学性质的影响第77-80 页
　　· 不同厚度的ZnO膜的结构和光学性质第80-91 页
　　　　· 不同厚度的ZnO膜的样品的制备第81 页
　　　　· 不同厚度的ZnO膜的样品的结果分析第81-91 页
　　　　　　· XRD分析结果第81-84 页
　　　　　　· SEM分析结果第84-87 页
　　　　　　· X射线光电子能谱对不同厚度的ZnO膜的分析第87-89 页
　　　　　　· 不同厚度的ZnO膜的光致发光光谱第89-91 页
　　· ZnO膜的二维层和三维层的结构和性质第91-99 页
　　　　· 样品的制备第92 页
　　　　· XRD结果分析第92-95 页
　　　　· 原子力显微镜对形貌的表征第95-97 页
　　　　· 二维层和三维层的光致发光第97-99 页
　　　　· 透射光谱第99 页
　　· 本章小结第99-101 页
　　本章参考文献第101-106 页
第四章 化学气相传输反应制备的ZnO薄膜结构和光学性质第106-123 页
　　· 单晶Si(100)上Au催化的ZnO膜的结构性质第106-114 页
　　　　· 样品的制备第106-107 页
　　　　· Au膜的厚度对ZnO结构形貌的影响第107-111 页
　　　　　　· XRD分析结果第107-108 页
　　　　　　· SEM结果第108-110 页
　　　　　　· 光致发光谱第110-111 页
　　　　· 衬底温度对ZnO薄膜的结构形貌的影响第111-114 页
　　　　　　· 样品的制备第111 页
　　　　　　· 实验结果分析第111-114 页
　　　　　　　　· XRD结果第111 页
　　　　　　　　· SEM结果第111-113 页
　　　　　　　　· 光致发光谱第113-114 页
　　· 其他条件下的ZnO薄膜的结构性质第114-119 页
　　　　· 样品的制备第114 页
　　　　· 样品的表征第114-119 页
　　　　　　· SEM结果第114-116 页
　　　　　　· XRD结果分析第116-117 页
　　　　　　· AFM结果第117-119 页
　　　　　　· 光致发光(PL)谱第119 页
　　· 本章小结第119-121 页
　　本章参考文献第121-123 页
结论第123-125 页
致谢第125-127 页
作者简介第127 页
博士学位期间发表的论文第127-129 页
摘要第129-131 页
ABSTRACT第131-133 页

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