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掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究
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掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究
论文目录
 
第一章 金刚石的概述第10-28 页
　　· 引言第10 页
　　· 金刚石的结构第10-11 页
　　· 金刚石的性质及应用第11-15 页
　　· 人造金刚石的研究进展第15-18 页
　　· CVD 金刚石膜制备方法简介第18-21 页
　　· 掺硼金刚石膜的研究进展第21-23 页
　　· 掺硼金刚石膜的应用第23-25 页
　　　　· 掺硼金刚石膜在微电子领域的应用第23-24 页
　　　　· 掺硼金刚石膜在电化学领域的应用第24-25 页
　　· 论文的选题及主要研究内容第25-28 页
第二章 EACVD 方法制备金刚石膜的设备及工艺简介第28-42 页
　　· 电子辅助热灯丝(EACVD)方法简介第28-33 页
　　　　· 实验设备简介第28-30 页
　　　　· 真空系统第30-31 页
　　　　· 热灯丝的选择第31-32 页
　　　　· EACVD 设备实验操作步骤第32-33 页
　　· CVD 金刚石的合成原理第33-38 页
　　　　· 碳的P-T 相图第33-34 页
　　　　· CVD 金刚石的生长过程第34-35 页
　　　　· 反应气体的分布第35-36 页
　　　　· 氢原子的作用第36-38 页
　　· EACVD 金刚石膜沉积系统各种参数间的关系第38-41 页
　　· 本章小结第41-42 页
第三章 -OH 键对金刚石膜生长特性的影响第42-53 页
　　· 实验条件第42-44 页
　　· 乙醇对金刚石膜生长速率及品质的影响第44-47 页
　　· 乙醇对金刚石膜表面形貌的影响第47-48 页
　　· 不同乙醇流量下制备的金刚石膜样品的XRD 测试第48-50 页
　　· 乙醇流量对金刚石膜机械性能的影响第50-51 页
　　· 本章小结第51-53 页
第四章 掺硼金刚石膜的制备及生长特性研究第53-66 页
　　· 掺硼金刚石膜的制备第53-56 页
　　　　· 硼源的选择第53-55 页
　　　　· EACVD 掺硼金刚石膜的制备第55-56 页
　　· 掺硼金刚石膜的测试与分析第56-65 页
　　　　· 硼掺杂对金刚石膜生长速率的影响第56-57 页
　　　　· 硼掺杂金刚石膜的Raman 光谱分析第57-60 页
　　　　· 掺硼金刚石膜生长均匀性第60-61 页
　　　　· 硼掺杂对金刚石膜表面形貌及品质的影响第61-64 页
　　　　· 偏流对掺硼金刚石膜表面形貌的影响第64-65 页
　　· 本章小结第65-66 页
第五章 掺硼金刚石膜电学性质的研究第66-83 页
　　· 掺硼金刚石膜的电学性质第66-68 页
　　· 掺硼金刚石膜的霍耳迁移率第68-70 页
　　· 重掺硼金刚石膜的超导特性第70-75 页
　　· 掺硼金刚石膜的光反射特性第75-81 页
　　· 本章小结第81-83 页
第六章 金刚石膜电极的电化学性能研究第83-102 页
　　· 掺硼金刚石膜电极的表面及其结构分析第83-86 页
　　· 金刚石膜电极电化学性能第86-89 页
　　　　· 金刚石膜电极制备第86-87 页
　　　　· 电极反应的动力学第87-88 页
　　　　· 循环伏安法测试体系第88-89 页
　　　　· 实验试剂第89 页
　　· 掺硼金刚石膜电极的循环伏安(CV)特性曲线第89-97 页
　　　　· 金刚石电极的电势窗口第89-91 页
　　　　· 掺硼浓度对金刚石膜电极电化学窗口的影响第91-94 页
　　　　· 不同电解液对金刚石膜电极电化学窗口的影响第94-95 页
　　　　· 电解液中的溶解氧对金刚石膜电极电化学窗口的影响第95-96 页
　　　　· 金刚石电极在亚铁氰化钾溶液中的循环伏安特性曲线第96-97 页
　　· 微量有机化合物成分的探测第97-100 页
　　· 本章小结第100-102 页
总结第102-106 页
参考文献第106-119 页
中文摘要第119-123 页
Abstract第123-129 页
致谢第129-130 页
博士期间发表和提交的论文第130 页

本篇论文共130页，点击这进入下载页面。
 
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