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直流磁控溅射纳米晶Fe-N薄膜的研究

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直流磁控溅射纳米晶Fe-N薄膜的研究
论文目录
 
提要第1-7 页
第一章 绪论第7-38 页
  · 纳米磁性材料的磁特性第7-10 页
  · Fe-N 材料的发展历史第10 页
  · Fe-N 材料的结构及磁性第10-19 页
  · Fe-N 材料的研究现状及发展趋势第19-24 页
  · 本论文研究的目的、意义及主要内容第24-26 页
  参考文献第26-38 页
第二章 纳米晶Fe-N 薄膜的制备与测试方法第38-50 页
  · 磁控溅射方法的工作原理第38-40 页
  · 实验装置第40-42 页
  · 影响薄膜生长的主要实验条件第42-44 页
  · 样品的制备第44-45 页
  · 纳米晶Fe-N 薄膜的测试分析方法第45-48 页
  参考文献第48-50 页
第三章 制备条件对Fe-N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第50-84 页
  · 衬底温度对Fe-N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第51-57 页
  · 衬底材料对Fe-N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第57-66 页
  · 溅射时间对γ'-Fe4N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第66-74 页
  · 衬底偏压对γ'-Fe4N 薄膜的结构及磁学性能的影响第74-79 页
  · 本章小结第79-81 页
  参考文献第81-84 页
第四章 Fe3N 薄膜的结构、形貌及磁性研究第84-96 页
  · Fe3N 薄膜的制备条件第84-85 页
  · Fe3N 薄膜的结构分析第85-87 页
  · Fe3N 薄膜的形貌分析第87-88 页
  · Fe3N 薄膜的磁性分析第88-92 页
  · 本章小结第92-94 页
  参考文献第94-96 页
第五章 γ'-Fe4N 薄膜的结构及磁性研究第96-107 页
  · γ'-Fe4N 薄膜的制备条件第96 页
  · γ'-Fe4N 薄膜的结构分析第96-98 页
  · γ'-Fe4N 薄膜的形貌分析第98 页
  · γ'-Fe4N 薄膜的室温磁性分析第98-100 页
  · γ'-Fe4N 薄膜的低温磁性分析第100-104 页
  · 本章小结第104-105 页
  参考文献第105-107 页
第六章 γ'-Fe4N 薄膜的结构、磁性及热稳定性研究第107-119 页
  · 薄膜样品的制备第107-108 页
  · γ'-Fe4N 薄膜热处理过程的结构分析第108-112 页
  · γ'-Fe4N 薄膜热处理过程的形貌分析第112 页
  · γ'-Fe4N 薄膜热处理过程的磁性分析第112-117 页
  · 本章小结第117-118 页
  参考文献第118-119 页
第七章 总结第119-121 页
  一、制备条件对 Fe-N 薄膜的结构、形貌及磁学性能的影响第119 页
  二、Fe_3N 薄膜的结构、形貌及磁学性能研究第119-120 页
  三、γ'-Fe_4N 薄膜的结构及低温磁性研究第120 页
  四、γ'-Fe_4N 薄膜的结构、磁性及热稳定性研究第120-121 页
攻读博士学位期间发表的论文第121-122 页
中文摘要第122-125 页
ABSTRACT第125-129 页
致谢第129 页

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