掺镁铌酸锂脊形光波导设计及制备工艺研究



掺镁铌酸锂脊形光波导设计及制备工艺研究

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掺镁铌酸锂脊形光波导设计及制备工艺研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-24页
· 周期极化铌酸锂晶体	第10-11页
· 铌酸锂光波导制备工艺研究概况	第11-20页
· 铌酸锂光波导在全光信号处理上的应用	第20-21页
· 研究意义及本论文工作	第21-24页
2 周期极化铌酸锂光波导结构设计理论基础	第24-33页
· 非线性周期极化铌酸锂波导设计理论	第24-28页
· 铌酸锂波导折射率与模式偏振态的关系	第28-29页
· 掺镁铌酸锂晶体抗光折变性能	第29-32页
· 本章小结	第32-33页
3 脊形波导结构设计方法理论基础	第33-42页
· 单模截止条件	第33-34页
· 有限差分法计算波导本征模式	第34-39页
· 有限差分光束传播法分析波导传输模式	第39-41页
· 本章小结	第41-42页
4 掺镁铌酸锂脊形光波导结构设计	第42-65页
· 直接键合脊形光波导结构设计	第42-49页
· 黏胶键合脊形光波导结构设计	第49-58页
· 退火质子交换脊形光波导结构设计	第58-63页
· 本章小结	第63-65页
5 直接键合掺镁铌酸锂脊形波导制备工艺	第65-97页
· 工艺流程	第65页
· 直接键合工艺研究	第65-78页
· 黏胶键合工艺研究	第78-82页
· 研磨抛光技术	第82-88页
· 干法刻蚀脊形结构工艺研究	第88-96页
· 本章小结	第96-97页
6 退火质子交换掺镁铌酸锂脊形波导工艺研究	第97-104页
· 工艺流程	第97页
· 掺镁铌酸锂晶体的周期性畴反转	第97-99页
· 周期极化掺镁铌酸锂晶体的退火质子交换工艺	第99-100页
· 金刚石划片机精密切割脊形结构工艺研究	第100-103页
· 本章小结	第103-104页
7 波导性能测试	第104-116页
· 波导传输损耗性能测试	第104-106页
· 波导耦合封装实验	第106页
· 波导性能测试分析	第106-115页
· 本章小结	第115-116页
8 总结与展望	第116-119页
致谢	第119-121页
参考文献	第121-133页
附录 1 攻读博士学位期间发表论文目录	第133-134页
附录 2 攻读博士学位期间申请专利目录	第134 页

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