基于ARM的扫描探针显微镜系统的研究



基于ARM的扫描探针显微镜系统的研究

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基于ARM的扫描探针显微镜系统的研究

论文目录
摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-9页
第1章绪论	第9-16页
· 纳米科技概述	第9页
· 扫描探针显微镜技术的发展	第9-13页
· 扫描隧道显微镜	第9-10页
· 原子力显微镜发展及应用	第10-13页
· 嵌入式系统技术	第13-14页
· 课题研究的背景和意义	第14页
· 本文的主要研究内容	第14-16页
第2章 AFM系统原理分析及总体结构	第16-28页
· AFM的工作原理	第16-17页
· AFM的工作模式	第17-21页
· AFM成像系统模型	第21-22页
· 探针模型	第21页
· 探针与样品间的原子力模型	第21-22页
· AFM总体结构设计	第22-27页
· 本章小结	第27-28页
第3章 AFM系统硬件研制	第28-62页
· AFM扫描器系统研制	第28-40页
· PZT压电陶瓷管及AFM扫描方式	第29-32页
· PZT微位移平台的选择	第32-33页
· PZT微位移平台控制系统设计	第33-38页
· 三维步进扫描平台	第38-40页
· AFM微悬臂偏转检测系统设计	第40-48页
· AFM微悬臂偏转量检测方法	第41-43页
· 四象限光电探测器检测微悬臂偏转量的原理	第43-46页
· AFM微悬臂偏转量检测的实现	第46-48页
· 反馈控制系统设计	第48-53页
· 控制系统概述	第49-50页
· PID控制原理	第50-53页
· 轻敲式AFM驱动系统研制	第53-56页
· 系统频率产生电路工作原理	第53-55页
· 系统放大电路工作原理	第55-56页
· 系统设计	第56页
· AFM自动进针系统设计	第56-60页
· 自动进针系统工作原理	第57-58页
· 自动进针系统设计	第58-60页
· CCD与光学显微监控系统	第60页
· 以太网接口电路	第60-61页
· AFM大范围扫描的实现	第61页
· 本章小结	第61-62页
第4章 ARM控制软件研制及测试	第62-84页
· 基于ARM920T的S3C2410简介	第62-63页
· 嵌入式ARM-μCLinux设备驱动	第63-64页
· ARM与DA9881控制软件设计及测试	第64-66页
· D/A软件设计	第64页
· D/A输出测试	第64-66页
· ARM与A/D控制软件设计及测试	第66-68页
· A/D软件设计	第66页
· A/D输入测试	第66-68页
· QP50-6SD2灵敏度测试	第68-69页
· 自动进针系统软件实现	第69-70页
· PZT扫描控制软件实现	第70页
· PID控制测试	第70-75页
· 轻敲式AFM驱动系统软件设计及测试	第75-80页
· 软件协议设计	第75-76页
· 系统测试及分析	第76-79页
· 轻敲式AFM驱动系统扫频输出	第79-80页
· PC机控制软件实现	第80-82页
· 本章小结	第82-84页
第5章 AFM系统成像影响因素分析及实验研究	第84-110页
· 压电扫描器的迟滞非线性分析和校正	第84-86页
· 探针对扫描结果的影响	第86-92页
· AFM探针的展宽效应	第87-88页
· AFM针尖结构对扫描结果的影响	第88-92页
· 影响AFM的环境因素	第92页
· AFM实验前的准备工作	第92-93页
· 气相条件下形貌扫描实验及研究	第93-98页
· 光栅纳米结构形貌实验	第93-95页
· AFM探针扫描形貌重复性实验	第95-96页
· CD-R的AFM扫描实验	第96-98页
· 液相条件下形貌扫描实验及研究	第98-105页
· AFM生物细胞成像实验及细胞特征提取	第98页
· 材料和仪器	第98页
· 实验方法及细胞AFM成像	第98-100页
· 细胞图像预处理	第100-102页
· 细胞边缘特征提取	第102-105页
· 气相和液相条件下样品形貌对比实验	第105-106页
· 序列图像拼接实验	第106-108页
· 本章小结	第108-110页
第6章总结和展望	第110-114页
· 总结	第110-112页
· 展望	第112-114页
致谢	第114-115页
参考文献	第115-120页
附录	第120页

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