用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究



用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究

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用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究

论文目录
致谢	第1-10页
摘要	第10-11页
ABSTRACT	第11-20页
第一章绪论	第20-34页
· 纳米技术	第20页
· 纳米线宽测量	第20-32页
· 光学显微镜	第22-25页
· 计量型扫描电子显微镜	第25-26页
· 扫描探针显微镜	第26-32页
· 本课题的研究意义和主要研究内容	第32-34页
第二章原子力显微镜	第34-49页
· 原子力显微镜的组成	第34页
· 近场力的检测	第34-38页
· 近场力	第35页
· 近场力检测方法	第35-38页
· 测量模式	第38-42页
· 静态测量	第38页
· 动态测量	第38-42页
· 动态AFM的调制模式	第42-46页
· 幅度调制模式	第42-44页
· 相位调制模式	第44-45页
· 频率调制模式	第45-46页
· 用于动态AFM的微悬臂	第46-48页
· 本章小结	第48-49页
第三章双探针原子力显微镜测头设计	第49-80页
· 单个探针测量线宽	第49-50页
· 双探针原子力显微镜测量原理	第50-51页
· Akiyama探针	第51-55页
· Akiyama探针的有限元分析	第55-59页
· 模态分析	第56-57页
· 运动轨迹	第57-59页
· 探针微电流提取	第59-62页
· 音叉探针信号的解调	第62-65页
· 原子力测头搭建	第65-68页
· 用于顶部测量的测头	第65-66页
· 用于CD测量的测头	第66-68页
· 测头的性能测试	第68-79页
· 顶端模式测头性能测试	第68-73页
· CD模式测头性能测试	第73-79页
· 本章小结	第79-80页
第四章双探针AFM针尖对准方案及装置设计	第80-99页
· 对准方案设计	第80-91页
· 视觉对准	第80-87页
· 近场力对准	第87-91页
· 对准系统设计	第91-93页
· 系统各组成部分	第93-97页
· 本章小结	第97-99页
第五章对准系统性能测试	第99-123页
· 实验装置	第99页
· 实验环境	第99-100页
· 纳米位移台标定	第100-103页
· 扫描式测头噪声	第103-104页
· 视觉对准实验结果	第104-105页
· 近场力对针实验结果	第105-122页
· 阈值保护	第105-108页
· 测量结果	第108-122页
· 本章小结	第122-123页
第六章总结与展望	第123-126页
· 工作总结	第123-124页
· 论文创新点	第124-125页
· 未来展望	第125-126页
参考文献	第126-135页
攻读博士学位期间的学术活动及成果情况	第135页

本篇论文共135页，点击这进入下载页面。

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