电沉积铜薄膜中织构与内应力的研究
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电沉积铜薄膜中织构与内应力的研究
论文目录
摘要
第1-5 页
ABSTRACT
第5-11 页
第1章 绪论
第11-39 页
· 铜的电沉积原理
第11-13 页
· 电沉积的基本历程
第12 页
· 铜电沉积的电极反应
第12-13 页
· 电沉积铜薄膜的制备工艺
第13-16 页
· 硫酸盐镀铜
第13-14 页
· 氰化物碱性镀铜
第14 页
· 无氰镀铜
第14-16 页
· 电沉积铜薄膜的组织结构与性能
第16-20 页
· 电沉积铜薄膜的组织结构
第16-18 页
· 电沉积铜薄膜的性能
第18-20 页
· 薄膜中织构及其表征
第20-27 页
· 电沉积铜薄膜中的织构
第20 页
· 电沉积薄膜择优取向理论
第20-23 页
· 薄膜织构测量方法
第23-27 页
· 薄膜中内应力及其表征
第27-33 页
· 电沉积铜薄膜中的内应力
第27-28 页
· 电沉积薄膜内应力理论
第28-29 页
· 薄膜内应力测定方法
第29-33 页
· 选题意义及研究内容
第33-34 页
参考文献
第34-39 页
第2章 材料及实验方法
第39-53 页
· 材料制备及处理工艺
第39-43 页
· 镀液组成
第39-40 页
· 基底材料
第40-43 页
· 超声波电沉积
第43 页
· 后序低温处理
第43 页
· 实验方法
第43-46 页
· 形貌观察
第43 页
· X射线衍射
第43 页
· 织构测量
第43-44 页
· 应力测定
第44 页
· 电化学测试
第44 页
· 力学性能测量
第44-46 页
· 电沉积铜薄膜自回火时间
第46-51 页
参考文献
第51-53 页
第3章 电沉积铜薄膜中的织构
第53-88 页
· 铜薄膜织构的XRD表征
第53-56 页
· 电流密度和薄膜厚度对薄膜织构的影响
第56-72 页
· 电流密度的影响
第56-61 页
· 薄膜厚度的影响
第61-64 页
· 铜薄膜电结晶初期的行为
第64-72 页
· 添加剂对电沉积铜薄膜织构的影响
第72-80 页
· 稀土铈盐
第72-76 页
· 聚乙二醇(PEG)
第76-78 页
· 乙二胺四乙酸二钠(EDTA)
第78-80 页
· 超声波电沉积工艺对铜薄膜织构的影响
第80-83 页
· 织构与薄膜的各向异性
第83-85 页
· 本章小结
第85-86 页
参考文献
第86-88 页
第4章 铜薄膜X射线弹性常数计算
第88-114 页
· 多晶材料弹性常数及X射线弹性常数计算
第88-93 页
· 多晶材料弹性常数计算
第89-91 页
· 多晶材料X射线弹性常数计算
第91-93 页
· 丝织构对材料弹性常数及X射线弹性常数的影响
第93-96 页
· 丝织构对材料弹性常数的影响
第93-94 页
· 丝织构对X射线弹性常数的影响
第94-96 页
· 电沉积铜薄膜X射线弹性常数及应力计算
第96-104 页
· 铜薄膜X射线弹性常数计算
第96-102 页
· 铜薄膜应力计算
第102-104 页
· 铜薄膜应力测定误差计算
第104-106 页
· 铜薄膜力学行为研究
第106-110 页
· 本章小结
第110-111 页
参考文献
第111-114 页
第5章 电沉积铜薄膜中的内应力
第114-132 页
· 电沉积工艺对铜薄膜内应力的影响
第114-121 页
· 内应力对薄膜织构的影响
第121-126 页
· 电沉积铜薄膜内应力调整
第126-130 页
· 超声波电沉积对铜薄膜内应力的影响
第126-127 页
· 后序低温处理对铜薄膜内应力的影响
第127-130 页
· 本章小结
第130-131 页
参考文献
第131-132 页
第6章 结论与创新
第132-135 页
本文主要结论
第132-134 页
本文主要创新
第134-135 页
攻读博士学位期间发表论文及申请专利
第135-137 页
致谢
第137-139 页
本篇论文共
139
页,
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