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金属纳米光学天线结构增强拉曼及近场超分辨光刻研究
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金属纳米光学天线结构增强拉曼及近场超分辨光刻研究
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-14页
第一章 绪论第14-42页
　　· 光学天线研究背景第14-15页
　　· 光学天线基本理论第15-21页
　　　　· 天线体系理论模型第15-17页
　　　　· 天线特征参数第17-19页
　　　　· 互易性原理第19-21页
　　· 光学天线与金属局域表面等离子体共振第21-29页
　　　　· 金属介电函数模型第21-23页
　　　　· 准静电近似理论第23-26页
　　　　· Mie理论第26-27页
　　　　· 局域表面等离子体共振的物理意义第27-29页
　　· 光学天线的制备方法第29-31页
　　　　· 电子束刻蚀第29-30页
　　　　· 聚焦离子束刻蚀第30页
　　　　· 化学合成及自组装方法第30-31页
　　· 光学天线的应用研究进展第31-35页
　　　　· 光学天线调控发光过程第31-33页
　　　　· 分子探测光谱学第33-34页
　　　　· 近场光学显微与近场光刻第34页
　　　　· 太阳能电池第34-35页
　　· 本论文主要研究工作第35-37页
　　参考文献第37-42页
第二章 银纳米球帽-纳米小孔耦合天线结构的SERS研究第42-66页
　　· 表面增强拉曼散射(SERS)基本原理第42-47页
　　　　· 常规拉曼散射(NRS)第42-44页
　　　　· 表面增强拉曼散射(SERS)第44-45页
　　　　· 光学天线增强SERS的电磁理论机制第45-47页
　　· 耦合型金属纳米天线结构的研究背景第47-49页
　　· 银纳米球帽的光学性质第49-56页
　　　　· 纳米球刻蚀法第49-50页
　　　　· 银纳米球帽的光学性质第50-56页
　　· 银纳米球帽-纳米小孔耦合结构第56-62页
　　　　· 制备方法与实验装置第57-58页
　　　　· SERS效应分析第58-60页
　　　　· SERS效应与耦合间隙的关系第60-62页
　　· 本章小结第62-64页
　　参考文献第64-66页
第三章 银纳米立方体-银纳米小孔阵列耦合天线结构SERS研究第66-86页
　　· 研究背景第66-67页
　　· 银纳米立方体的制备第67-69页
　　　　· 制备原理第67-68页
　　　　· 制备步骤第68-69页
　　· 银纳米小孔阵列的制备第69-74页
　　　　· AAO模板的制备方法第69-71页
　　　　· AAO模板形貌优化与特征尺寸调节第71-73页
　　　　· 利用AAO模板制备银纳米小孔阵列第73-74页
　　· 银纳米立方体-纳米小孔阵列耦合天线结构的SERS研究第74-81页
　　　　· 制备方法与实验装置第74-75页
　　　　· 耦合效应分析第75-78页
　　　　· SERS EF影响因素第78-81页
　　· 本章小结第81-83页
　　参考文献第83-86页
第四章 基于蝴蝶结形光学天线的近场扫描超分辨光刻研究第86-108页
　　· 近场扫描超分辨光刻概述第86-88页
　　· 蝴蝶结形光学天线的光学性质第88-93页
　　· 近场扫描光刻实验装置与光刻过程第93-95页
　　　　· 实验装置第93页
　　　　· 光刻过程第93-95页
　　· 掩膜板结构与制备第95-96页
　　· MICROPOSIT S1805型光刻胶特性研究第96-100页
　　　　· 光刻胶薄膜制备第96-97页
　　　　· 光刻胶特性参数第97-100页
　　· 近场扫描超分辨光刻实验结果第100-104页
　　　　· 光学天线尺寸选择第100-101页
　　　　· 偏振依赖性第101页
　　　　· 扫描速度第101-102页
　　　　· 润滑剂作用第102-103页
　　　　· 侧壁陡直度第103页
　　　　· 超分辨光刻结果第103-104页
　　· 本章小结第104-106页
　　参考文献第106-108页
第五章 大规模并行的近场超分辨光刻研究第108-130页
　　· 大规模并行近场光刻研究进展第108-109页
　　· 干涉式空间位相成像(ISPI)系统第109-113页
　　　　· ISPI基本原理第110-111页
　　　　· 数值模拟与光栅设计第111-112页
　　　　· ISPI测距实验结果第112-113页
　　· ISPI辅助光刻实验装置第113-116页
　　　　· 实验装置第113-115页
　　　　· 掩膜板结构与制备第115-116页
　　· ISPI辅助近场超分辨光刻第116-122页
　　　　· ISPI辅助调平第116-118页
　　　　· 反馈控制机制第118-120页
　　　　· 光学天线工作距离控制第120-122页
　　· 大规模并行近场超分辨光刻研究第122-126页
　　　　· 5×5天线阵列并行光刻研究第122-124页
　　　　· 32×32天线阵列并行光刻研究第124-125页
　　　　· 大规模并行高速光刻研究第125-126页
　　· 本章小结第126-128页
　　参考文献第128-130页
第六章 论文总结与研究展望第130-134页
　　· 主要研究工作第130-132页
　　· 研究展望第132-134页
攻读博士学位期间获得的学术成果第134-135页
本论文研究工作得到以下项目资助第135-136页
致谢第136 页

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