基于厚膜工艺的不锈钢压力传感器设计与制造技术研究



基于厚膜工艺的不锈钢压力传感器设计与制造技术研究

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基于厚膜工艺的不锈钢压力传感器设计与制造技术研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-7页
1 绪论	第10-26页
1.1 引言	第10-14页
1.2 厚膜技术概况	第14-16页
1.3 厚膜压力传感器研究概况	第16-20页
1.4 厚膜技术在传感器封装中的应用	第20-22页
1.5 课题来源和研究内容	第22-26页
2 厚膜不锈钢压力传感器材料测试与可行性评估	第26-55页
2.1 厚膜技术概述	第26-30页
2.2 介质层纳米压痕测试	第30-39页
2.3 厚膜电阻基本特性测试	第39-46页
2.4 厚膜不锈钢压力传感器可行性分析	第46-53页
2.5 本章小结	第53-55页
3 厚膜不锈钢压力传感器设计与制造	第55-87页
3.1 薄板小挠度弯曲理论	第55-59页
3.2 厚膜不锈钢压力传感器结构设计	第59-71页
3.3 厚膜不锈钢压力传感器材料工艺参数选择	第71-79页
3.4 厚膜不锈钢压力传感器制造工艺	第79-86页
3.5 本章小结	第86-87页
4 厚膜不锈钢压力传感器性能与可靠性评估	第87-109页
4.1 厚膜不锈钢压力传感器输出特性	第87-93页
4.2 热应力对厚膜不锈钢压力传感器可靠性影响	第93-100页
4.3 厚膜电阻自热效应对传感器可靠性影响	第100-104页
4.4 厚膜不锈钢压力传感器热冲击实验及分析	第104-107页
4.5 本章小结	第107-109页
5 厚膜技术封装的半导体压力传感器制造与性能评估	第109-132页
5.1 半导体硅压阻效应原理	第109-112页
5.2 传统半导体应变片制作工艺	第112-114页
5.3 半导体应变片的外延工艺制造	第114-119页
5.4 半导体压力传感器的厚膜工艺封装	第119-123页
5.5 厚膜技术封装的半导体压力传感器性能评估	第123-126页
5.6 粘片材料微观结构分析	第126-130页
5.7 本章小结	第130-132页
6 总结与展望	第132-135页
6.1 全文总结	第132-133页
6.2 今后工作展望	第133-135页
致谢	第135-136页
参考文献	第136-146页
攻读博士学位期间发表学术论文	第146-148页
攻读博士学位期间申请和授权专利	第148

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