磷酸体系中铜的电化学抛光机制与影响因素的研究



磷酸体系中铜的电化学抛光机制与影响因素的研究

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磷酸体系中铜的电化学抛光机制与影响因素的研究

论文目录
摘要	第1-6页
Abstract	第6-13页
第1章绪论	第13-34页
· 课题来源及背景	第13-14页
· 铜的物理及电化学性质	第14-19页
· 铜的电化学抛光机理研究进展	第19-29页
· 铜的电化学抛光模型	第19-26页
· 铜抛光过程的表面分析研究	第26-29页
· 铜抛光工艺的研究进展	第29-32页
· 铜电化学抛光工艺研究进展	第29-31页
· 铜电化学机械抛光工艺研究进展	第31-32页
· 本文的主要研究内容	第32-34页
第2章实验材料及研究方法	第34-39页
· 实验材料及设备	第34页
· 实验装置	第34-36页
· 电化学行为研究	第36-37页
· 电化学测试	第36页
· 旋转盘环电极测试	第36-37页
· 物理测试方法	第37-39页
· 表面粗糙度及轮廓图测试	第37-38页
· X 射线光电子能谱分析	第38页
· 扫描电镜分析	第38-39页
第3章铜在磷酸溶液中电化学抛光机制研究	第39-63页
· 铜在磷酸中的极化曲线研究	第39-40页
· 铜阳极极化过程中 RRDE 的研究	第40-46页
· 阻抗-时间及阻抗-电位曲线的研究	第46-49页
· 磷酸抛光表面元素分析	第49-50页
· 电化学阻抗的研究	第50-60页
· 铜在磷酸溶液中电化学抛光反应历程	第60-61页
· 本章小结	第61-63页
第4章铜电化学抛光工艺影响因素的研究	第63-94页
· 电化学抛光条件对铜表面抛光效果的影响	第63-77页
· 极化电位对铜表面粗糙度的影响	第63-66页
· 磷酸浓度对铜表面电化学抛光过程的影响	第66-76页
· 温度对铜表面电化学抛光过程的影响	第76-77页
· 甘油对铜表面电化学抛光过程的影响	第77-81页
· 硫酸对铜表面电化学抛光过程的影响	第81-85页
· 重铬酸钾对铜表面电化学抛光过程的影响	第85-87页
· 液体流动对铜的电化学行为影响	第87-90页
· 转速对腐蚀电位和腐蚀电流的影响	第87-89页
· 转速对溶液欧姆电阻的影响	第89-90页
· 压力对铜电化学行为的影响	第90-93页
· 本章小结	第93-94页
第5章添加剂对铜的电化学抛光的影响	第94-114页
· 表面活性剂对铜电化学抛光的影响	第94-108页
· SDS 对铜电化学抛光的影响	第94-103页
· PEG 对铜电化学抛光的影响	第103-106页
· PVP 对铜电化学抛光的影响	第106-108页
· 缓蚀剂对铜电化学抛光的影响	第108-113页
· BTA 对铜电化学抛光的影响	第108-111页
· TTA 对铜电化学抛光的影响	第111-113页
· 本章小结	第113-114页
结论	第114-115页
论文创新点	第115页
展望	第115-116页
参考文献	第116-127页
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果	第127-129页
致谢	第129-130页
个人简历	第130 页

本篇论文共130页，点击这进入下载页面。

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