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MoS2/Si异质薄膜制备、微结构及电光性能研究
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MoS2/Si异质薄膜制备、微结构及电光性能研究
论文目录
 
摘要第1-6页
abstract第6-8页
论文创新点摘要第8-11页
第一章 绪论第11-27页
　　1.1 引言第11-12页
　　1.2 MoS_2的概述第12-20页
　　　　1.2.1 MoS_2的结构及性质第12-14页
　　　　1.2.2 MoS_2的应用第14-16页
　　　　1.2.3 MoS_2的制备技术第16-20页
　　1.3 MoS_2气体传感器的研制第20-22页
　　1.4 MoS_2光电器件的研制第22-24页
　　1.5 选题依据及研究内容第24-27页
第二章 实验技术及测试方法第27-35页
　　2.1 磁控溅射技术第27-28页
　　2.2 微观结构表征方法第28-31页
　　　　2.2.1 X 射线光电子能谱（XPS）第28-29页
　　　　2.2.2 拉曼光谱分析第29页
　　　　2.2.3 紫外光电子能谱（UPS）第29页
　　　　2.2.4 紫外可见吸收光谱（UV）第29页
　　　　2.2.5 X 射线衍射（XRD）第29-30页
　　　　2.2.6 扫描电子显微镜（SEM）第30页
　　　　2.2.7 原子力显微镜（AFM）第30-31页
　　2.3 半导体性能测试方法第31-33页
　　　　2.3.1 I-V性质第31-32页
　　　　2.3.2 C-V性质第32-33页
　　2.4 光伏性能参数第33-35页
第三章 MoS_2薄膜制备及结构表征第35-44页
　　3.1 引言第35页
　　3.2 MoS_2薄膜制备第35-36页
　　3.3 MoS_2薄膜结构表征第36-42页
　　3.4 本章小结第42-44页
第四章 MoS_2/Si异质薄膜的气敏特性研究第44-63页
　　4.1 引言第44-45页
　　4.2 MoS_2/Si异质薄膜的I-V特性第45-48页
　　4.3 MoS_2/Si异质薄膜的H_2敏感性第48-53页
　　　　4.3.1 敏感性能测量第49-51页
　　　　4.3.2 H_2敏感性机理第51-53页
　　4.4 MoS_2/Si异质薄膜的NH_3敏感性第53-57页
　　4.5 MoS_2/Si异质薄膜的湿度敏感性第57-59页
　　4.6 MoS_2/Si异质薄膜的气体敏感机理第59-61页
　　4.7 本章小结第61-63页
第五章 MoS_2/Si异质薄膜的电光特性研究第63-88页
　　5.1 引言第63-64页
　　5.2 MoS_2/Si光伏性能第64-71页
　　5.3 SiO_2缓冲层的影响第71-78页
　　　　5.3.1 MoS_2/SiO_2/Si异质薄膜的制备第71-72页
　　　　5.3.2 SiO_2缓冲层对电学性能的影响第72-74页
　　　　5.3.3 SiO_2缓冲层对光伏性能的影响第74-78页
　　5.4 Pd掺杂效应第78-86页
　　　　5.4.1 Pd掺杂的MoS_2/Si异质薄膜的制备第78页
　　　　5.4.2 Pd掺杂对MoS_2/Si异质薄膜结构的影响第78-81页
　　　　5.4.3 Pd掺杂对MoS_2/Si异质薄膜光伏性能的影响第81-86页
　　5.5 本章小结第86-88页
第六章 结论与展望第88-91页
参考文献第91-106页
攻读博士学位期间取得的研究成果第106-109页
致谢第109-110页
作者简介第110页

本篇论文共110页，点击这进入下载页面。
 
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