移相衍射干涉法微球型靶丸全表面形貌检测技术研究



移相衍射干涉法微球型靶丸全表面形貌检测技术研究

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移相衍射干涉法微球型靶丸全表面形貌检测技术研究

论文目录
摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-13页
第1章绪论	第13-29页
1.1 课题背景及研究的目的和意义	第13-14页
1.2 表面形貌检测方法及国内外现状	第14-23页
1.2.1 点探测轮廓法	第14-15页
1.2.2 线探测轮廓法	第15页
1.2.3 光学干涉测量法	第15-23页
1.3 ICF微球型靶丸全表面形貌检测方法及国内外现状	第23-26页
1.4 本课题研究需要解决的主要问题	第26-28页
1.5 课题来源及主要研究内容	第28-29页
第2章微球靶丸移相衍射干涉测量方法研究	第29-47页
2.1 引言	第29页
2.2 靶丸全表面形貌检测基本原理	第29-31页
2.3 基于标量衍射理论的衍射波前质量分析	第31-33页
2.4 基于偏振控制的移相衍射干涉测量方法	第33-39页
2.4.1 基于偏振控制的移相衍射干涉靶丸全表面形貌检测方法	第34-35页
2.4.2 干涉光路的琼斯矩阵表述	第35-36页
2.4.3 干涉信号对比度仿真分析	第36-37页
2.4.4 点衍射检测波光场畸变标定方法	第37-39页
2.5 系统光机结构设计	第39-44页
2.5.1 光路结构设计	第39-40页
2.5.2 靶丸控制系统设计	第40页
2.5.3 系统整体结构设计	第40-41页
2.5.4 电气系统设计	第41-42页
2.5.5 针孔掩膜板参数设计及加工	第42-44页
2.6 靶丸全表面形貌检测流程	第44-46页
2.7 本章小结	第46-47页
第3章相位信息提取技术研究	第47-63页
3.1 引言	第47页
3.2 解相算法	第47-55页
3.2.1 线性移相误差	第47-49页
3.2.2 典型解相算法	第49页
3.2.3 基于误差互补修正的五帧解相算法	第49-53页
3.2.4 解相算法仿真验证	第53-55页
3.3 相位解包裹	第55-62页
3.3.1 相位区间模 2π 扩展	第56页
3.3.2 最小范数法相位解包裹原理	第56-58页
3.3.3 最小二乘算法的迭代求解方法	第58-60页
3.3.4 圆形域的最小二乘迭代解包裹算法	第60-61页
3.3.5 解包裹算法的仿真验证	第61-62页
3.4 本章小结	第62-63页
第4章偏心误差修正方法研究	第63-77页
4.1 引言	第63页
4.2 靶丸检测中的偏心误差分析与修正	第63-70页
4.2.1 横向偏心误差模型分析	第63-66页
4.2.2 轴向偏心误差模型分析	第66-69页
4.2.3 偏心误差修正方法及流程	第69-70页
4.3 归一化极径近似误差的分析与修正	第70-74页
4.4 系统结构参数的标定方法	第74-76页
4.5 本章小结	第76-77页
第5章子孔径数据拼接技术研究	第77-98页
5.1 引言	第77页
5.2 子孔径的排布及拼接流程	第77-78页
5.3 基于映射图像匹配的子孔径数据拼接	第78-87页
5.3.1 横向分辨率分析	第79-80页
5.3.2 图像特征等尺度变换	第80-81页
5.3.3 映射图像匹配所需的相关算法	第81-85页
5.3.4 基于映射图像匹配的拼接方法仿真验证	第85-87页
5.4 基于点云匹配的子孔径数据拼接	第87-97页
5.4.1 迭代最近点匹配算法原理	第88-90页
5.4.2 形貌数据的三维空间坐标还原	第90-91页
5.4.3 ICP算法的应用局限性分析	第91-94页
5.4.4 基于虚拟极小半径横向压缩的点云匹配方法	第94-97页
5.5 本章小结	第97-98页
第6章实验结果及误差分析	第98-117页
6.1 引言	第98页
6.2 实验装置	第98-99页
6.3 参数标定结果	第99-101页
6.3.1 结构参数标定结果	第99-101页
6.3.2 系统误差标定结果	第101页
6.4 实际测量结果	第101-108页
6.4.1 单孔径测量结果	第101-105页
6.4.2 子孔径数据拼接结果	第105-108页
6.5 误差分析	第108-116页
6.6 本章小结	第116-117页
结论	第117-119页
参考文献	第119-128页
攻读学位期间发表的学术论文与其他成果	第128-132页
致谢	第132-133页
个人简历	第133页

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