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PZT基双层压电复合薄膜制备及性能研究

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PZT基双层压电复合薄膜制备及性能研究
论文目录
 
摘要第1-7页
ABSTRACT第7-13页
第一章 绪论第13-30页
  1.1 引言第13-14页
  1.2 压电薄膜材料简介第14-22页
    1.2.1 ZnO薄膜材料特性及应用第14-17页
      1.2.1.1 ZnO薄膜的结构及特性第14-15页
      1.2.1.2 ZnO薄膜的应用第15-17页
    1.2.2 AlN薄膜材料特性及应用第17-19页
      1.2.2.1 AlN薄膜的结构及特性第17-18页
      1.2.2.2 AlN薄膜的应用第18-19页
    1.2.3 PZT薄膜材料特性及应用第19-22页
      1.2.3.1 PZT薄膜的结构及特性第19-21页
      1.2.3.2 PZT薄膜的应用第21-22页
  1.3 压电薄膜制备方法第22-25页
    1.3.1 磁控溅射第22-23页
    1.3.2 脉冲激光沉积第23页
    1.3.3 分子束外延第23-24页
    1.3.4 溶胶-凝胶法第24页
    1.3.5 金属有机物化学气相沉积第24-25页
  1.4 压电复合薄膜的国内外研究现状第25-28页
  1.5 本论文研究意义和研究内容第28-30页
第二章 薄膜样品制备与结构和性能表征第30-38页
  2.1 薄膜制备与晶化处理系统第30-33页
    2.1.1 薄膜磁控溅射系统第30-32页
    2.1.2 薄膜晶化处理系统第32-33页
  2.2 薄膜制备工艺第33-34页
    2.2.1 PZT薄膜制备第33页
    2.2.2 ZnO/PZT复合薄膜制备第33-34页
    2.2.3 AlN/PZT复合薄膜制备第34页
  2.3 薄膜结构和微观形貌表征方法第34-36页
    2.3.1 X射线衍射分析第34页
    2.3.2 激光拉曼光谱分析第34-35页
    2.3.3 原子力显微镜第35页
    2.3.4 扫描电子显微镜第35-36页
  2.4 薄膜电学性能表征方法第36-38页
    2.4.1 电压-电流性能测试(I-V)第36页
    2.4.2 介电性能测试(C-V)第36页
    2.4.3 铁电性能测试第36-37页
    2.4.4 压电性能测试第37-38页
第三章 PZT薄膜制备及性能研究第38-58页
  3.1 引言第38页
  3.2 PZT薄膜制备技术研究第38-39页
  3.3 PZT薄膜性能与制备工艺关系研究第39-50页
    3.3.1 溅射功率对薄膜结构成分以及电学特性的影响第39-43页
    3.3.2 衬底温度对薄膜结构成分以及电学特性的影响第43-47页
    3.3.3 溅射气氛对薄膜结构成分以及电学特性的影响第47-50页
  3.4 PZT薄膜后处理性能研究第50-56页
    3.4.1 退火温度对薄膜结构成分以及电学特性的影响第50-53页
    3.4.2 退火时间对薄膜结构成分以及电学特性的影响第53-56页
  3.5 本章小结第56-58页
第四章 ZnO/PZT复合薄膜制备及性能研究第58-81页
  4.1 引言第58页
  4.2 PZT基ZnO薄膜制备技术研究第58-59页
  4.3 PZT基ZnO薄膜性能与制备工艺关系研究第59-70页
    4.3.1 溅射功率对薄膜结构成分以及性能的影响第59-64页
    4.3.2 衬底温度对薄膜结构成分以及性能的影响第64-67页
    4.3.3 溅射气氛对薄膜结构成分以及性能的影响第67-70页
  4.4 PZT基ZnO薄膜后处理性能研究第70-79页
    4.4.1 退火温度对薄膜结构成分以及性能的影响第70-74页
    4.4.2 退火气氛对薄膜结构成分以及性能的影响第74-77页
    4.4.3 退火时间对薄膜结构成分以及表面形貌的影响第77-79页
  4.5 本章小结第79-81页
第五章 AlN/PZT复合薄膜制备及性能研究第81-107页
  5.1 引言第81页
  5.2 PZT基AlN薄膜制备技术研究第81-82页
  5.3 PZT基AlN薄膜性能与制备工艺关系研究第82-100页
    5.3.1 溅射功率对薄膜结构成分以及性能的影响第82-86页
    5.3.2 溅射气氛对薄膜结构成分以及性能的影响第86-90页
    5.3.3 衬底温度对薄膜结构成分以及性能的影响第90-95页
    5.3.4 溅射气压对薄膜结构成分以及性能的影响第95-100页
  5.4 AlN/ZnO复合薄膜的制备及性能研究第100-106页
    5.4.1 ZnO缓冲层对AlN薄膜结构组成的影响第101-102页
    5.4.2 ZnO缓冲层对AlN薄膜微观形貌的影响第102-104页
    5.4.3 ZnO缓冲层对AlN/ZnO复合薄膜电学性能的影响第104-106页
  5.5 本章小结第106-107页
第六章 PZT薄膜参数对复合薄膜的结构及性能影响研究第107-127页
  6.1 引言第107-108页
  6.2 复合薄膜性能随PZT厚度变化研究第108-118页
    6.2.1 PZT厚度对ZnO/PZT复合薄膜结构以及电学特性的影响第108-113页
    6.2.2 PZT厚度对AlN/PZT复合薄膜结构以及电学特性的影响第113-118页
  6.3 复合薄膜性能随PZT取向变化研究第118-125页
    6.3.1 PZT取向对AlN/PZT复合薄膜结构以及电学特性的影响第118-122页
    6.3.2 PZT取向对ZnO/PZT复合薄膜结构以及电学特性的影响第122-125页
  6.4 本章小结第125-127页
第七章 结论第127-130页
致谢第130-131页
参考文献第131-144页
攻读博士学位期间取得的成果第144-145页

本篇论文共145页,点击这进入下载页面
 
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