基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术研究



基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术研究

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基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术研究

论文目录
摘要	第1-7页
Abstract	第7-15页
第1章绪论	第15-28页
1.1 课题研究的目的和意义	第15-16页
1.2 表面三维微观轮廓光学测量技术发展及研究现状	第16-19页
1.3 基于白光干涉法的表面三维微观轮廓测量技术的研究现状	第19-26页
1.3.1 白光干涉条纹的峰值解调和解包络峰值算法	第20-22页
1.3.2 微位移驱动器的精确定位控制	第22-24页
1.3.3 表面三维微观轮廓信号的滤波	第24-25页
1.3.4 三维表面粗糙度的评定	第25-26页
1.4 课题研究的主要内容	第26-28页
第2章表面三维微观轮廓的解调算法	第28-53页
2.1 表面三维微观轮廓的测量原理	第28-33页
2.1.1 白光干涉原理	第28-30页
2.1.2 白光干涉的特性	第30-31页
2.1.3 表面三维微观轮廓测量原理	第31-33页
2.2 白光干涉零级条纹的峰值求解方法	第33-36页
2.3 数字滤波和二次曲线拟合算法	第36-40页
2.4 高斯滤波器在包络线解调中的应用	第40-51页
2.4.1 高斯滤波器的特性	第40-44页
2.4.2 高斯滤波器的逼近算法	第44-51页
2.5 本章小结	第51-53页
第3章微位移驱动器及其控制	第53-73页
3.1 压电陶瓷的特性	第53-56页
3.1.1 迟滞特性	第53-54页
3.1.2 非线性特征	第54-55页
3.1.3 蠕变特性	第55页
3.1.4 温度特性	第55页
3.1.5 刚度特性	第55-56页
3.1.6 压电陶瓷误差分析	第56页
3.2 微位移驱动器的驱动电源设计	第56-65页
3.2.1 微位移驱动器系统结构	第56-57页
3.2.2 微位移驱动器驱动电源设计	第57页
3.2.3 D/A 转换电路设计	第57-58页
3.2.4 功率放大电路与电压跟随电路设计	第58-60页
3.2.5 电压跟随电路设计	第60页
3.2.6 快速放电电路设计	第60-61页
3.2.7 微位移检测系统的设计	第61-65页
3.3 微位移驱动器控制策略	第65-68页
3.3.1 PID 闭环控制策略	第65-67页
3.3.2 电压蠕变模型	第67页
3.3.3 基于蠕变补偿的控制策略	第67-68页
3.4 实验结果	第68-71页
3.5 本章小结	第71-73页
第4章高斯逼近滤波器在粗糙度测量中的应用	第73-89页
4.1 高斯滤波器的 B 样条函数逼近算法	第73-79页
4.1.1 三次样条函数	第73-74页
4.1.2 平滑样条滤波器	第74-77页
4.1.3 中心极限定理	第77页
4.1.4 高斯滤波器 B 样条函数逼近算法	第77-79页
4.2 高斯滤波器在粗糙度测量中的应用	第79-82页
4.2.1 二维高斯滤波器的分离特性	第79-80页
4.2.2 建立表面三维微观轮廓基准面的方法	第80-81页
4.2.3 仿真实验	第81-82页
4.3 表面粗糙度测量	第82-88页
4.3.1 粗糙度评定参数	第82-86页
4.3.2 仿真实验	第86-88页
4.4 本章小结	第88-89页
第5章实验验证及粗糙度评定	第89-104页
5.1 测量系统组成	第89页
5.2 三维微观轮廓测量过程及数据处理	第89-92页
5.3 三维微观轮廓图像的预处理	第92-95页
5.4 测量系统的精度检测	第95-99页
5.5 实验结果及粗糙度参数评定	第99-103页
5.6 本章小结	第103-104页
结论	第104-106页
参考文献	第106-114页
攻读学位期间发表的学术论文	第114-115页
致谢	第115-116页
附录	第116页

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